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基于并联的非接触平面运动测量传感器设计及其误差分析.pdf
2014正 仪表技术与传感器 2014
Instrument andSensor No．7
第7期 Technique
基于并联的非接触平面运动测量传感器设计及其误差分析
徐志刚1”，白鑫林1”，王军义1，王昊1’2
(1．中国科学院沈阳自动化研究所，辽宁沈阳110016；2．中国科学院大学，北京100039)
摘要：针对平面运动物体非接触高精度测量的难点，文中设计了一种新型的非接触式平面运动测量激光传感器，通过
测量组合算法实现了物体平面运动的非接触式测量。介绍了该新型传感器的结构与测量原理，给出了被测运动量的数学
模型，并用微分法建立了误差模型；用蒙特卡洛法对误差模型中的各随机变量进行了随机抽样；最后结合算例，用蒙特卡
洛法得到了被测量误差的频数分布直方图。通过文中的分析计算，非接触平面运动传感器位置测量误差小于0．056rain，
角度测量误差小于，为这种传感器的实际应用提供了依据。
关键词：非接触式；平面运动测量；并联测量；激光测距；误差模型；蒙特卡洛
中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2014)07一O009—03
ofNon-contactMotionmeasurement
Design planar
SensorsBasedonParallelMethodandItsError
Analysis
XU Xin．1inl”，WANG Ha012
Zhi．gan91”，BAI Jun-yil，WANG
Instituteof of
(1．Shenyang Automation，ChineseAcademySciences，Shenyangll0016，China；
ofChinese of
2．University AcademySciences，Betjmg100039，China)
viewofthedifficultiesofnon-contact measurementof motion a
Abstract：In designed
high—precision planar objects，thispaper
new ofnon—contact laser measurement realizedthenon—contact
type parallelplanarrangingsensor．Byusing combiningalgorithm，it
measurementof movement thestructureofthenewsensorandits es-
p]anar objects．Thispaperpresented measuringprinciple，and
method．ItusedtheMonteCarlo
tablishedamathem
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