第5章--电容传感器.ppt

5.1.3 变间隙（极距）型电容传感器 变极距型传感器－原理 1. 变间隙（极距）型电容传感器的工作原理分析 d0 若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了ΔC， 1. 变间隙（极距）型电容传感器的工作原理分析 若Δd/d0<<1时，则展成级数： 此时C与Δd近似呈线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d0很小时，才有近似的线性关系。 灵敏度 1. 变间隙（极距）型电容传感器的工作原理分析 d0过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，常用提高介电常数的方法，即在两级板间加云母、塑料膜等介质。 1.灵敏度 灵敏度Kg与极距的平方成反比，极距越小，灵敏度越高。 提高灵敏度，应减小起始间隙。一般电容式传感器的起始电容在20～30pF之间，极板距离在25～200?m的范围内。 2. 变间隙（极距）型电容传感器的非线性分析 一般电容式传感器的云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000kV/mm，而空气仅为3kV/mm。 定极板 动极板 有了云母片极板间的起始间距 可大大减小。极大地提高了电容式传感器的灵敏度K，在微位移测量中应用最广 2.非线性误差δ 上述等式成立的条件是：Δd/d0<<1时，高次项省略，若保留二次项，则有： 其相对非线性误差为 可见，要提高灵敏度，须减小起始间隙d0，但此时相对非线性误差δ增大。 2. 变间隙（极距）型电容传感器的非线性分析 为提高灵敏度和线性度，克服电源电压、环境温度变化等外界条件影响，常采用差动式电容传感器 上下两极板是固定极板，中间极板是活动极板 未开始测量时将活动极板调整在中间位置，两边电容相等。测量时，中间极板向上或下平移，就会引起电容量的上增下减或反之。 差动式结构 δ1 δ2 S 2. 变间隙（极距）型电容传感器的非线性分析 差动式结构 2. 变间隙（极距）型电容传感器的非线性分析 当动极板向上位移Δδ时： 电容器C1的间隙δ1变为δ0–Δδ ； 电容器C2的间隙δ2变为δ0+Δδ ； 差动式结构 在Δδ /δ 0<< 1时，按级数展开： 2. 变间隙（极距）型电容传感器的非线性分析 电容值总的变化量为： 电容值相对变化量为： ≈ 差动式结构 2. 变间隙（极距）型电容传感器的非线性分析 只保留上式中的线性项和三次项, 电容式传感器的相对非线性误差θ为： 差动式电容传感器灵敏度是原来的2倍 零点附近的非线性误差大大降低。 差动式结构 2. 变间隙（极距）型电容传感器的非线性分析 变间隙型电容传感器总结 变间隙型电容传感器的输出特性是非线性的 灵敏度Kg与极距的平方成反比，极距越小，灵敏度越高，但线性误差增加 差动式电容传感器的灵敏度比单边的提高了一倍，非线性误差减小了一个数量级。 2. 变间隙（极距）型电容传感器的非线性分析 电容式传感器例题 解： 1） 2）S1*S2*ΔC=100*5*0.01=5格 一电容测微仪，其传感器的圆形极板半径r=4mm，工作初始间隙d=0.3mm，介电常数ε=8.85×10-12F/m，试求： 1)工作中，若传感器与工件的间隙减小量Δd=2μm, 电容变化量是多少? 2)若测量电路的灵敏度S1=100mv/PF, 读数仪表的灵敏度S2=5格/mv, 当Δd=2μm,时，读数仪表示值变化多少格? 变极距（d）型 变面积（A）型 变面积（A）型 变面积（A）型 变极距（d）型 变面积（A）型 变面积（A）型 变面积（A）型 变介电常数型 变介电常数型 变介电常数型 变介电常数型 5.2.1 调频电路 当被测信号为0时，振荡器有一个固有频率f0, 其表示式为 5.2 电容式传感器的测量电路 当被测信号不为0时，ΔC≠0， 振荡器频率有相应变化， 频率为 特点： 1）较高的灵敏度，可以测量高至0.01μm级位移变化量 2 ）抗干扰能力强 3 ）性能稳定 4）易于计算机通讯，可以发送、 接收，以达到遥测遥控的目的。 5.2.1 调频电路 5.2 电容式传感器的测量电路 对变间隙式电容传感器 线性 反馈电容 初始电容 反馈电容 初始电容 5.2 电容式传感器的测量电路 2.运算放大器电路 从原理上解决了使用单个变间隙型电容传感器输出特性的非线性问题。 条件：假设运算放大器增益 实际上仍具有一定非线性误差，但这种误差是相当小的 总结 5.2 电容式传感器的测量电路 2.运算放大器电路 5.2 电容式传感器的测量电路 3.变压器式交流电桥 Cr1 Cr2 U 两个桥臂是交流变压器二次绕组阻抗的一半 另两个桥臂是差动电容 a d c b a d c b * 以 代入