原子力显微镜AFM-中国显微图像网.PDF

第一篇第三章SPM 3.2 原子力显微镜（AFM ） Atomic Force Microscope 从扫描隧道显微镜的工作原理可知，其工作时必须实时 通过检测针尖和样品间隧道电流变化实现样品结构成 像，因此它只能用于观察导体或半导体材料的表面结 构，不能实现对绝缘体表面形貌的观察。 为了测量绝缘体样品的表面结构，1986年，G.Binning 在扫描隧道显微镜的基础上发明了原子力显微镜。 1 对微弱力敏 感的悬臂 力检测器 2 原子力显微镜使用一个一端固定，另一端装有针尖 这样一个对微弱力敏感的悬臂。针尖长为若干微 米，直径通常小于100nm，悬臂长100-200微米。 当针尖或样品扫描时，由于针尖或样品间的相互作 用（可能是吸引力，可能是排斥力）将使悬臂产生 微小的形变。 反馈系统则根据检测器检测的结果不断调整针尖 （或样品）Z轴方向的位置，以保证在整个扫描过 程中悬臂微小形变不变，即针尖与样品间的作用力 恒定。测量高度Z随（x，y ）位置变化，就可以得 到样品表面的形貌图像。 3 3.2.1 原子力显微镜的结构 利用光学技术检测悬 臂位置 一束激光被悬臂反射 到位敏光探测器 (PSPD)，当悬臂变形 时投射在探测器上的 激光光斑的位置发生 偏移，PSPD可以1nm 的精度测量出这种偏 移。 4 3.2.2 造成原子力显微镜悬臂偏转的力 范德瓦尔斯力 5 范德瓦尔斯力——吸引力 atom 吸引力 atom 在非接触区间，悬臂和样品间的原子距 离保持在几纳米至几十纳米的量级，相 互间存在的是吸引力，这种吸引力来自 长程的范德瓦尔斯相互作用。 当悬臂和样品间距离达到约为化学键长 时（小于1nm），原子间作用力变为零。