用角分辩光电子能谱对溅射膜结构的研究-摩擦学学报.PDF

用 角分辩光 电子能谱对溅射 膜结构 的研 究 富里斯 考 尔 会 员 , 多伦什 诺 美 国航天 公 司化 学 与物理实脸室 摘 要 。 用封 频 城射法, 在辉 铂 矿 单 晶和 钢 两 种 底 材 上 沉 积 了 膜 以 评价不 同制 备 条件 时膜 性质 的影 响。 然 后 用 角分辫 光 电子 能谱 时样 品 进 行 测 , 以 下 几 面 了信 层 晶 面 的 , 的 层 试 在 方 提供 息 状 体 基 取 向 紧靠底 材 膜 在 以 内 和 由较 大 的微 晶组 成 的厚 一 些 的宏 观 膜。 大 约 、 时于 沉 积 在 晶体 基 面 上厚 的膜 来说, 其 光 电子 发 射对 角度 的依 赖 关 系跟 底材 的一样, 这就说 明在这些 膜 内择优 取 向。 时于 在钢 底材 上厚 一 些 的膜, 所 作 的角分布研 究结 果跟 先前 的俄 歇 电子 能谱 的结 果一致, 因而 证 实润 滑膜 因取 向不 同而 在 它上 面 出现 不 同厚 度 的 氧化 物膜 。 甘 角度 的依 赖 关 系的数据跟描 述 膜 表面 的组 成和 结 构 的模 型相 吻 合。 己 宣 ‘ 、 。 , 溅射 膜 的化学性质 结构特性和摩擦 学性质 已经被 人们广泛研 究 过 〔 一 , 〕 一 。 般地说, 当膜 的化 学计量接近 于 时, 膜 的润 滑特性得 以改善 表面分析和显微技 术 的 已经证 , 沉积 可 具 上不 同的反应 即 学 , 于 具体结果 明 溅射 膜 能 有实质 性 氧化化 是在做标 准滑动摩擦实验 时得到 了不 同