线纹测量装置校准规范.DOC

中华人民共和国国家计量技术规范 JJF ××××—201X  本规范主要起草人： 孙双花 （中国计量科学研究院） 沈雪萍 （中国计量科学研究院） 高宏堂 （中国计量科学研究院） 参加起草人： 赵新丽 （中国航空工业集团公司北京长城计量测试 技术研究所） 目 录 引 言 (II) 1 范围 (1) 2 引用文件 (1) 3 概述 (1) 4 计量特性 (2) 4.1 线纹尺测量示值误差 (2) 4.2 瞄准重复性 (2) 4.3 线纹分辨力 (2) 4.4 工作台运动直线度 (2) 4.5 影像测头示值误差 (2) 4.6 瞄准系统光轴与测量面的垂直性 (2) 5 校准条件 (2) 5.1 环境条件 (2) 5.2 操作条件 (3) 5.3 校准用标准器 (3) 6 校准项目和校准方法 (4) 6.1 线纹尺测量示值误差 (4) 6.2 瞄准重复性 (5) 6.3 线纹分辨力 (6) 6.4 工作台运动直线度 (6) 6.5 影像测头示值误差 (6) 6.6 瞄准系统光轴与测量面的垂直性 (7) 6 校准结果的处理 (8) 7 复校时间间隔 (8) 附录A 线纹尺测量示值误差的测量不确定度评定（示例）……………………………….. (9) 附录B 校准证书内容及内页格式….……………………………………………………….. (12) 引 言 本规范代替JJG331-1994《激光干涉比长仪》，为首次发布。 本规范依据JJF 1071-2010《国家计量校准规范编写规则》进行编写。 本规范相对于JJG331-1994《激光干涉比长仪》，增加了适用范围，适用于以激光干涉仪或光栅尺作为测长标准的线纹测量装置的校准、验收。 线纹测量装置校准规范 范围 本校准规范适用于对高精度线纹尺进行直接测量的一维线纹测量装置的校准，验收检测可参照执行。高精度线纹尺指，单值或多值的、金属或玻璃制的刚性的一维线纹尺。 引用文件 本规范引用下列文件： JJF 1001-2011 通用计量术语及定义 JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示 JJF 1094-2002 测量仪器特性评定 JJG 73-2005 高等别线纹尺 OIML R98 1991 高精度线纹尺（High-precision line measures of length） 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。 概述 一维线纹测量装置一般由测长系统、瞄准系统、工作台及驱动系统、照明系统、温度测量系统及数据处理系统等部分组成。测长系统以激光干涉仪或是光栅尺作为测长基准；瞄准系统通常采用光电显微镜、读数显微镜或影像测头等，依据瞄准读数时的状态可分为动态瞄准测量和静态瞄准测量。 检测二等及以上高精度线纹尺的线纹测量装置称为激光干涉比长仪，其以激光干涉仪作为测长基准、光电显微镜动态瞄准，测量范围一般0~2000mm，不确定度一般优于U99=0.1μm+10-7L。典型结构如图1所示，测量时线纹尺移动，符合阿贝原则。 其他等级的线纹测量装置以激光干涉仪或光栅尺作为测长基准、利用影像测头或读数显微镜进行静态瞄准读数，测量范围可长至几米，示值误差一般在几微米至十几微米以上，典型的光栅式线纹影像测量仪结构如图2所示，测量时线纹尺固定不动，测头移动。 图1 激光干涉比长仪 图2 光栅式线纹影像测量仪 计量特性 线纹尺测量示值误差E 瞄准重复性：瞄准系统的测量重复性 线纹分辨力：可测量的线纹尺的最小刻线间隔 工作台运动直线度 影像测头示值误差EP 瞄准系统光轴与测量面的垂直性：光轴偏离垂直于测量面方向的角度 校准条件 环境条件 校准环境的温度和湿度应该满足被校准装置的使用要求，用于测量二等及以上高精度线纹尺的激光干涉比长仪的校准条件可参照表1。 校准环境内无影响被校准装置正常工作的振动、噪声等因素。 表1 激光干涉比长仪校准条件 温度要求 （20±0.5）℃ 温度变化 ≤0.03℃ 相对湿度要求 30%~70% 标准器恒温时间 ≥24h 操作条件 当进行校准和验收检测时，应采用线纹测量装置的操作说明书中规定的程序操作。 校准用标准器 推荐使用表2、表3所列仪器，允许使用其他满足不确定度要求的标准器进行校准。 表2 激光干涉比长仪校准项目及校准用标准器 序号 校准项目 校准用标准器 计量特性要求 1 线纹尺测量示值误差E 线纹基准尺 U