退火温度对二氧化钛薄膜的性能影响-光学仪器.pdfVIP

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2018-08-19 发布于天津
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退火温度对二氧化钛薄膜的性能影响-光学仪器.pdf

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退火温度对二氧化钛薄膜的性能影响-光学仪器

第卷第期光学仪器年月文章编号退火温度对二氧化钛薄膜的性能影响潘长锦张大伟王健卢忠荣上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海摘要为了获得性能优良的二氧化钛薄膜采用电子束蒸发沉积方法制备二氧化钛薄膜并分别在空气中对样品进行退火处理以改善所制备二氧化钛薄膜的性能分别采用射线衍射原子力显微镜以及分光光度计研究了退火温度对二氧化钛薄膜结构和光学性能的影响结果表明退火处理可以使二氧化钛薄膜由非晶态薄膜转换为金红石型薄膜且金红石晶型成分随退火温度的加大而增大同时退火处理可以改善二氧化钛薄膜在光谱范围的总吸光率以及增大二氧化钛薄膜的应用范围关键词二氧化钛薄膜退火温度射线衍射原子力显微镜透射率中图分类号文献标志码