电子封装、微机电与微系统 全套课件.pptx

西 安 电 子 科 技 大 学 出 版 社 ;;;　　　　1.1 封?装?的?定?义　　电子封装可定义为：将集成电路设计和微电子制造的裸芯片组装为电子器件、电路模块和电子整机的制造过程，或将微元件再加工及组合构成满足工作环境要求的整机系统的制造技术。;　　　　　1.2 封?装?的?内?容　　封装所涉及的内容主要包括：　　● 工艺，包括热加工、薄膜技术、真空技术、表面处理技术、等离子技术、熔点焊接、微连接技术等。　　● 材料，包括金属材料、无机非金属材料、聚合物材料、复合材料、组合材料、高分子材料等。　　● 机械，包括振动、高速驱动、高精度擦拭、光机电耦合、热应力膨胀、热控制技术、伺服自控技术等。　　● 电磁，包括高频电路、数字电路、射频电路、信号传输完整性、电源完整性、信号串扰、寄生效应、耦合、电磁兼容等问题。;　　从材料上讲，电子封装涉及各种类型的材料，如焊丝框架、焊剂焊料、金属超细粉、陶瓷粉料、表面活性剂、有机粘接剂、有机溶剂、金属浆料导电材料、感光性树脂、衬底等。图1-1所示为各种封装材料。;;　　从设计、评价、解析技术讲，封装涉及薄膜性、电气特性、热特性、结构特性及可靠性等方面的分析、评价与检测，如图1-2所示。;;　　　　1.3 封?装?的?层?次　　如图1-3所示，从电子制造过程可以看出，封装的整个过程可以分为以下6个层次：　　● 层次1：芯片以及半导体集成电路元件的连接。　　● 层次2：单芯片封装以及多芯片组装。单芯片封装是对单个芯片进行封装；多芯片组装是将多个裸芯片装载在陶瓷等多层基板上，进行气密性封装。　　● 层次3：板或卡的装配。将多层次单芯片或多芯片实装在PCB板等多层基板上，基板周边设有插接端子，用于与母板和其它板或卡的电气连接。;　　● 层次4：单元组装。将经过层次3装配的板或卡，通过其上的插接端子，搭载在大型PCB板(母板)上，构成单元组件。　　● 层次5：多个单元搭装成架，单元与单元间经布线或电缆相连接。　　● 层次6：总装。将多个架排列，架与架之间经布线或电缆相连接，构成大规模电子设备。;;　　图1-4所示为一、二、三级封装。一级封装利用引线键合将芯片在基板上固定，并进行隔离保护；二级封装为经一级封装后的各器件在基板上的固定和连接；三级封装为将电路板装入系统中组成电子整机系统。　　图1-5、图1-6所示分别为手机和笔记本电脑的封装过程。;;;;　　图1-7～图1-15为零级封装过程，主要工艺步骤为晶圆、磨片、装片、划片、贴片、引线键合、塑封、切筋和电镀。图1-7为晶圆(Wafer)，上面布满了矩形的芯片，有切割槽的痕迹。由于晶圆出厂时厚度比芯片封装所需厚度厚，因此芯片通常要磨片(Back Grinding)。磨片完成后，接下来装片(Wafer Mount)、划片(Die Sawing)、贴片(Die Attach)。贴片是将芯片粘贴到涂好环氧树脂的引线框架上。最后是引线键合(Wire Bonding)、塑封(Molding)、切筋(Trim)、电镀(Plating)。电镀的作用是增强导电性。;;;;;;;;图1.14 切筋;图1-15 电镀;　　　　 1.4 封?装?的?功?能　　作为用户，所关心的并不是芯片，而是由芯片和相关材料通过封装技术构成的半导体器件或设备的可靠性。因此，电子封装必须具有以下功能：　　● 电气特征保持功能。芯片技术在不断发展，对芯片的高性能、小型化、高频化、低功耗、集成化等要求越来越高。类似信号完整性、电源完整性、集肤效应、邻近效应、串扰耦合、寄生效应等都会对设备的性能产生影响，在进行封装设计时必须考虑。 ;　　● 机械保护功能。针对类似航天等特殊环境下的芯片及设备，所承受的高低温、强振动冲击对芯片等的保护要求越来越高。通过封装技术保护芯片表面以及连接引线等，使其免受外力损坏及外部环境的影响。　　● 应力缓和功能。随着设备应用环境的变化以及芯片集成密度的提高，由外部环境温度的变化或者芯片自发热等产生的热量在热膨胀系数不匹配的材料中传导，将导致热应力。利用封装技术，实现应力释放，以防止芯片等发生损坏。;　　 1.5 封装技术的历史和发展趋势　　图1-16和图1-17所示分别为电子封装发展趋势。;;;;　　　　2.1 DIP(双列直插式封装)　　如图2-1所示，芯片由Au浆料固定在陶瓷底座上，Al键合丝将芯片电极同外基板电路连接。底座与陶瓷盖板由玻璃封接，使芯片密封在陶瓷之中与外界隔离。玻璃具有封接密封和应力缓冲作用，经过玻璃过度，可以使陶瓷与Fe/Ni系金属的热膨胀系数相匹配。;;　　　　 2.2 SOP(小外形封装)　　SOP是表面贴装型封装之一，引脚从封装两侧引出，呈海鸥翼状(L 字形)。材料有塑料和