第一讲-薄膜材料简介.pptVIP

参考书 1.《固体薄膜材料与制备技术》，宁兆元等， 科学出版社 2008年5月第一版 2.《薄膜材料制备原理、技术及应用》，唐伟忠， 冶金出版社 1998年5月第一版，2003年1月第二版 第一讲 薄膜材料简介 薄膜材料的历史 薄膜材料的应用 薄膜技术的研究内容 表面效应 薄膜的结构和缺陷 薄膜材料的历史 构成薄膜的材料 薄膜可以有气体薄膜、液体薄膜，但研究最多、应用最广的是固体薄膜。 薄膜材料的分类 按化学组成分为： 无机膜、有机膜、复合膜； 按相组成分为： 固体薄膜、液体薄膜、气体薄膜、胶体薄膜； 按晶体形态分为： 单晶膜、多晶膜、微晶膜、 纳米晶膜、超晶格膜等。 按薄膜的功能及其应用分为： 光学薄膜：高反/减反涂层、光记录介质、光波导 电学薄膜：绝缘薄膜、导电薄膜、半导体器件 磁学薄膜：磁记录介质 机械薄膜：耐磨涂层（硬质膜、润滑膜 ） 化学薄膜：防氧化或防腐蚀涂层、扩散阻挡层 薄膜材料的定义 利用特殊的技术手段, 人为制得的、其一维尺度显著小于另外两维尺度的、具有特定性能与用途的材料. A thin film is a layer of material with a high surface-to-volume ratio. It is a very thin coating applied