超净车间各岗位操作标准.doc

超净车间各岗位操作标准 编制人/日期： 审核人/日期： 批准人/日期：  1 目的 明确超净车间操作人员的作业标准，确保清洗扩散工艺的稳定进行。 2 范围 本标准适用于超净车间的所有工作人员，适用于清洗、扩散工艺过程。 3 相关文件 无 4 定义 无 5 职责 为了使超净车间各工序操作能够按照标准化进行，明确规定了超净车间各岗的工艺操作权限。 5.1 普通员工 无权对任何工艺参数进行修改与调整。 5.2 操作员 5.2.1 在工艺工程师授权的情况下才能对设备的工艺参数进行调整，在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。 5.2.2 协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控，并填写司炉点检表。当发现工艺参数发生变化或机台报警时应及时通知班组长，由班组长通知工艺值班工程师，或者主操作直接通知工艺值班工程师。 5.2.3 出现任何异常，请详细记录于异常记录单，并及时通知班组长，根据异常情况通知工艺或设备工程师。 5.2.4 司炉人员不可更改进出舟速度，一律采用正常工艺中的舟速。 5.3 班组长 5.3.1 班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反工艺规定现象出现。 5.3.2 当工艺工程师不在现场，且扩散后硅片的方块电阻出现异常时，生产班组长可以对扩散炉管源流量进行调节，并在工艺更改记录单上详细记录更改内容（如不记录，将视为误操作）。其他非工艺人员不可以对工艺进行更改。当对源流量进行微调无效时，班组长应该通知工艺工程师进行处理。 5.3.3 班组长应该积极的配合工艺工程师完成各项实验。 5.3.4 协助工艺工程师对超净间的各种工艺进行监控，监督工艺质量，当发现工艺被修改时应及时通知工艺工程师，并由工艺工程师进行确认处理。 5.3.5 实验单由班组长负责，监督本组员工如实、认真填写。 5.3.6 任何部门借用机台，均需工艺、设备和生产部门确认后方可借用。交回后需由各相 关部门确认后方可恢复生产。 5.4 工艺工程师 5.4.1 保持超净车间的工艺稳定，保证超净车间生产的连续，当工艺出现重大波动且影响到生产时，应该及时采取相应的解决措施。 5.4.1.1 工艺工程师应该指导生产人员进行生产，保证生产的顺利进行； 5.4.1.2 当工艺工程师对工艺进行优化时，应事先与生产主管及工艺部主管讨论确认方案的可行性，然后有条理的进行实验； 5.4.1.3 工艺工程师的实验在没有成熟时不得进行批量生产。 5.4.2 在进行各种实验时，为生产人员设定好各种工艺参数； 5.4.3 巡视超净车间各工艺情况，当发现工艺参数发生变化时，调查其原因然后进行相应处理； 5.4.4 可以根据工艺需要对手工清洗处的溶液浓度暂时进行相应的微调，加大或减小清洗液的浓度； 5.4.5 可以根据工艺需要对手工清洗时间进行相应调整； 5.4.6 可以根据需要对扩散炉的工艺参数进行相应调整；并在工艺更改记录单上详细记录更改内容和更改效果。 5.4.7 保证超净间各个工艺在规定的工艺参数（工艺卡）下进行，对设备的各工艺参数进行定期复查，完成SPC相关工作； 5.4.8 对超净车间常见工艺异常（方阻异常、烧焦、 滴源等）进行记录并查找原因进行处理； 5.4.9 对本车间内制绒面绒面异常或有污染等与制绒相关异常情况反馈给制绒工艺工程师；接受刻蚀工艺工程师反馈的工艺异常并帮助查找原因； 5.4.10 详细填写工艺更改记录单，重大异常及时上报部门主管，收集相关数据，并做分析，给出报告； 5.4.11 配合其他段工艺工程师完成各项实验和质量控制。 6 环境 无 7 职业安全 无 8 管理内容 8.2 扩散标准作业规范 8.2.1 扩散炉工艺 8.2.1.1 作业步骤 A.操作界面的打开： 扩散炉通电后触摸屏显示器同时将被打开，在触摸屏显示器上双击“扩散炉监控程序”的图标，屏幕上将出现一对话框，在对话框内输入用户名和密码后将进入“扩散炉监控程序”的主界面。 B.温度设置： 温度设定值可在触摸屏上直接修改或设定：点击温度控制器图形上的SV设定栏，出现输入数据对话框，输入想要设定的温度，最后点击“确定”按钮，该SV温度值将得到修改或设定。 C.流量设置： 在手动操作主界面的右上侧，有一个“流量控制”区域。在该区域可小N2、大N2、干O2及清洗小N2流量可在触摸屏上直接修改或设定：点击流量控制器图形上的设定栏，出现输入数据对话框，输入想要设定的流量，最后点击“确定”按钮，该流量值将得到修改或设定，同时在检测值栏可以观察到气路流量的大小。 D.舟