扫描透视X射线显微镜的成像分辨率研究.pdfVIP

第1l卷第4期 光学精密工程 v01．11N。．4 文章编号 1004—924X(2003)04一0159—05 扫描透视X射线显微镜的成像分辨率 陈 亮1 阳1’2，蒋诗平1，黄文浩2，陈 (1．中国科学技术大学国家同步辐射实验室，安徽合肥230029； 2．中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽合肥230029) 摘要：软X射线扫描透射显微镜(STXM)是近年来发展起来的一种新型显微技术，该技术能够获得比普通光学显微镜更 高的分辨率，而相对于电子显微镜又具有不用重金属染色、可观测含水样品等优点。讨论了合肥国家同步辐射实验室 统离焦的情况下系统调制传递函数、点扩散函数、边缘扩散函数的变化，并进行了数值模拟。通过数值计算，得到了分辨 率随离焦量的变化趋势曲线，结合光强分布曲线可得到离焦量最好应小于3pm的结论，此数据对sTXM的准直定位精 度的确定具有指导意义。 关键词：软x射线；扫描透射X射线显微镜；菲涅耳波带片；数值模拟；离焦量 中图分类号：TH74