光子相關法於微奈米粉體粒徑之量测評估研究.pdfVIP

光子相碉法於微奈米粉髅粒径之量测枰估 潘善鹏1+翁漠甫2林志明1 1工棠技衍研究院量测技钭彳襞展中心研究具 2工棠技衍研究院量测技衍骚展中心副研究具 *EmaiI： tri．org．tw PanShanPeng@i Correlation 摘要：光子相网法(Photon Spectroscopy，PCS)又稻鹅勤憋光散射法，遣檀技衍常 被利用柬榆测奈米等级的粒径尺寸，它不但具借量测快速的傻黠，成本相较於罨子颞微境 更颢得便宜。系统的量测原理是利用雷射光射入含有戆浮粒子的溶液中，雷射光因粒子虚 生散射光，散射的雷射光舍随畴同改燮，再由散射光起伏的燮化，配合爱因斯坦方程式 GUM“GuidetOthe (Stokes—Einsteinequation)针算出粒径大d、o系统的不磋定针算乃根撼ISO in ofuncertaintymeasurement’，ISO．造行规割，秤估的不碓定度因子包括波兹曼常 expression 敷、雷射波畏、散射角度、折射保敷、及溶液的黏滞保敦等，本研究针封20nm、100nm、 1000 nm的奈米粒径畏期抨估後在95％的信赖水辈下，其接充不雅定度分别捣U95=3．2nm， 6．2nm及48nm。 阴键嗣：奈米粉髓，粒径分析，量测不磋定度 1．前言 随著奈米科技的骚展，奈米材料静多有别於傅统材料的特性逐渐被赣现，也直接或同 接地引鹱出静多新技衍舆新虑用，而遣些虑用大多必须徒奈米材料的使用朗始。现陪段奈 米材料的虑用，需要将材料奈米化舆相网的裂程技衍配合才有楼台骚展更多元的通用，而 各式奈米粉髓的裂造设借，将是材料奈米化的重要工具，监具有推勤奈米科技麈棠化的重 要功能。鹅了验遥奈米材料裂造设借的加工性能舆奈米粉髓的特性，奈米粉髓的桧测能量 更是不容忽视的重要阏键。 一般而言，奈米粉髓粒径的量测模式可分鹅瀑式量测舆乾式量测雨獯。其中，漯式量 测主要是根攘粉髓因羯尺寸的不同，在量测系统中官呈现出不同的特性柬加以分析，以求 Correlation 得粉髓粒径大小，光子相嗣法(Photon Spec廿oscopy，Pcs)IH舆靛心沉降分析法 Sedimentation (Centrifugal Analyzer)[2]等即属此颓；而乾式量测通常则是以穿透式罨子鬏微 Electron Force 镜(TransmissionMicroscope，TEM)[3]或原子力颗微镜(AtomicMicroscope， AFM)[4]等直接觊察粉髓，将其建何形貌呈现出东，遥而推算出其粒径大小。 勤憋光散射馐是目前以瀑式量测最常兄的桧测方法，本研究以光子相网法使用之 Stokes—Einstein方程式鹅基磺，秤估方程式中可能影譬的误差因子作分析，以求出光子相 am、100nm、1000 网法量测奈米粉髓的量测不雅定度，本研究针封20 nm的奈米粒径畏期 nm，6．2 48nm。 鲆估後。在95％的信赖水毕下，其攘充不碓定度分别羯U95=3．2nm，and 2．光子相翻法原理 光子相网法是利用雷射光射入含有戆浮粒子的溶液中，雷射光因粒子廑生散射光，散 218 射的雷射光舍随畴同改燮，再由散射光起伏的燮化针算出粒径大小。其原理猖粒子因虎於 非绝封零度，本身含有勤能而造行不规则的布朗逞勤(BrownianMotion)【5】，粒子大小不同 其布朗逞勤舆搪散速度也不同，因耦粒子随畴在移勤而相封位置不断燮化，各倜粒子之散 射光的相互干涉也随畴在燮化，因此散射光强度也随畴同起伏燮化。粉粒髓越细，布朗逢 勤的速度越快，