光机系统光学表面面形的可视化仿真方法研究.pdfVIP

纪念马祖光院士全国光电子与光电信息技术学术研讨会论文集·哈尔滨2006 光机系统光学表面面形的可视化仿真方法 王栋L2，杨洪波1，陈长征1’2 (I．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林，长春130033；2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：在机械载荷或热载荷作用下光机系统的光学元件表面会发生变形，这些变形将影响光学系统的成像性能。光学表面 的变形分为刚体位移和表面畸变。采用有限元分析工具可以计算出光学表面在外载荷作用下的变形值，但却不能将两种变形 量分离开。本文提出了一种基于有限元分析结果的可视化仿真方法。它利用Zernike多项式与Seidel象差之间的对应关系， 对有限元数据进行后处理，并采用数值解、表面畸变云图和理论干涉图等形式对镜面面形进行模拟。仿真试验表明，该方法 不仅可以将两种变形量有效分离，而且具有图形显示的直观性，其在光机集成有限元分析中具有重要作用。 关键词：光机系统；Zernike多项式；变形云图；理论干涉图；波像差 in AVisualMethodfor theMirrorDistortionthe Simulating OptomechanicalSystem WANG don91一，YANGHong．b01，CHENChang．zhen91，2 (1．ChangchunInstituteofOptics，FineMechanics 130033，China； 2．GraduateSchoolofthe 100039，China) ChineseAcademyofSciences，Beijing Abstract：Inthe willbe underthemechanical01thermalloads．Itincludes and system,distortiongenerated rigid-body optomechanicai existed newvisualmethodbasedontheFEAresult the abcrYation．Butthe FEAtoolscan’tdividethem．A isstudied．Usingmlationship betweentheZcrllike andtheclassicalSeidel FEAresults躺transferredtothemorereasonablesimulated polynomials aberrations,the interference iSindicatedthatthemethodcandivide numerical andsimulated forms,includingvalues,aberrationnephogram pattern．It thedistortion inaninmitionistictakesan roleinthe way,and design． efficaciously important optomechanicalsystem interference aberration Keywords：Optomechanicalsystem,Zcmikepolynomials,Aberrationncphogram,Simulatedpattern,