光热反射技术测量表面下微尺度热结构研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 ，传热传质学 学术会议论文 编号：073309 光热反射技术测量表面下微尺度热结构 布文峰唐大伟郑兴华 中国科学院工程热物理研究所北京 100080 7I℃l：010 E-mail：垒丛!垒望g亟已也旦i!：旦!卫：垒￡：笠壁 摘要 采用周期半导体激光为加热源，连续半导体激光为探测光，光学显微镜物镜聚光，应用稳 态的光热反射探测技术得到相应于表面温度响应的周期反射信号，建立一套5～10微米分辨率的实验室 用扫描探针式表面下热结构测量系统。利用光刻的形式，制作了埋藏在金属表面下si綦体中的Si02 的图形，分别使用不同频率对其进行一维逐点扫描，在合适的频率下得到被埋藏物的信息，从而实现 了微米量级简单结构复合试样的热结构测量。 关键词 光热反射技术，微尺度热结构，表面下 1引言 随着微电子机械系统技术和半导体器件的发展，微电子器件集成度逐步提高，这带 来了导致微装置高热载荷的热产生率的增加，从而影响微电子器件工作的稳定性和可靠 性。因此，半导体材料及器件的热学性质也受到人们越来越多的重视，对其进行表面和 表面下，如微细结构功能材料特别是微细结构复合材料的内部粒子分布状态及粒子、界 面等的热物性分布、各层结构的厚度、热物性和非均匀性、集成电路内部的配线及发热 状态、表面下微通道的分布状况、表面镀膜的密实状态及接触热阻、陶瓷、玻璃及半导 体等内部微裂纹状况等方面的准确地定量分析和预测将直接影响半导体器件的热设计、 热管理。表面下微尺度热结构测量方法的研究为此提供了必不可少的实验手段，同时也 将促进微纳米尺度传热学及其测量技术等新领域的研究的发展…。 本文采用周期半导体激光为加热源，连续半导体激光为探测光，光学显微镜物镜聚 光，应用稳态的光热反射探测技术得到相应于表面温度响应的周期反射信号，建立一套 5～10微米分辨率的实验室用扫描探针式表面下热结构测量系统。制作简单结构的三元 微米尺度复合试样，使用微米尺度X．Y扫描平台，对试样表面进行～维扫描，’实现微米 量级尺度简单热结构复合试样的结构测量。 2 测量原理和实验装置 光热反射测量的原理【刈：周期调制的加热激光加热试样，能量被试样表面吸收，引 起温度的周期变化，另一束连续激光作为探测光照射该表面，光电探测器探测其反射光 的能量，反映试样表面的反射系数的变化情况，将反射信号与加热信号进行比较得到两 者的位相差及振幅比，此问题的逆解析就可以得到加热表面或加热表面下物体的热物性 分布。 假设函数发生器输出信号： y(T)=g…∽ (1) 调制得到的周期加热激光强度为： Q(气)=90e一响伽+：’ (2) 。868 对试样表面进行加热，其表面产生的温度波为： 丁(t)兰么P一‘(。”鲥·+埘z’ (3) 连续激光照射在试样上，其反射光强度的变化则反映了试样表面反射率的变化。光 热反射系数％=去等与材料有关，在～定范围内为常数，所以反射激光强度变化与 温度变化步调一致。经高度线性化的PIN光电探测器探测到的电压信号可表示为： y 7(，，c／)=＆一‘‘…砷t+△+：o (4) 直接测量得到的△巾2，得到△咖1。实验装置见图l，泵浦激光为护830nm的半导体激光 器，调制源是函数发生器发出的正弦电压信号，探测激光为拾650m的半导体激光器， 泵浦，探测激光同轴聚焦在试样表面，探测器接收探测激光的反射光，将能量转化为电压， 并通过锁相放大技术得到电压信号的幅值和相位差。