光探针技术在光电器件检测中的应用研究.pdfVIP

光探针技术在光电器件检测中的应用 王克逸 23002 (中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 合肥 6) 摘要：文中介绍了用光探针技术探测微透镜聚焦光斑和光学传递函数的原理和结果。对测量 结果进行了分析。讨论了在光电器件探测中的应用。 关键词：光探针：光电器件；检测 1．引言 光探针技术是20世纪80年代发展起来的一种获得高空间分辨率的光学测量技术“1。其核心技 术是使用光纤探针。光纤经拉锥并通过侧面镀膜，在探针尖部形成孔径为20～50nm的小孔。孔径 大小确定了光学分辨率。将该探针在光场中扫描，可以获得扫描区域的光场分布。在扫描隧道显微 镜(STM)技术的基础上，结合光探针制作以及探针高度反馈控制技术形成了光子扫描隧道显微镜 和扫描近场光学显微镜技术，为在纳米尺度上研究光与物质相互作用提供了有力的工具。除了近场 探测以外，可以利用其高空间分辨能力探测光电器件的局域光场分布，获得远场难以获得的高分辨 图像，为光电器件的应用和设计提供了独特的测量手段。适合测量无源和有源器件光学特性。 2．实验和装置 2．1自聚焦透镜光斑测量 自聚焦透镜具有体积小、数值孔径高、焦距短、’[作距离短等优点，在光通信、微成像系统中 有广泛的应用”1。自聚焦透镜成像质量高。传统的光学成像技术很难获得光斑分布的精细结构。高 数值孔径的自聚焦透镜光斑在微米量级，现有的测量方法如ccD摄像法、刀口扫描法等结构复杂、 光谱响应特性差、分辨率低、很难获得光斑分布的精细结构且不易仪器化，因而很难适用于自聚焦 透镜批量检测”1。光探针技术可以获得足够高的分辨率。因此我们研究用光探针技术探测微透镜光 斑，并由此分析成像特性。 激光光斑的测量和分析是评价自聚焦透镜成像质量和光纤耦合器设计的重要参数，对于自聚焦 透镜综合像差的评估、变折射率材料的选用以及离子交换工艺的提高具有重要意义。 基于光探针技术的自聚焦透镜光斑测量仪，可以对自聚焦透镜的工作距离和光斑进行测量和分 析计算。具有结构简单、分辨率高、智能化等特点。 光纤扫描成像系统由样品台、扫描器、音叉传感器、光学探针和光电倍增管、电路控制系统、 计算机软硬件系统组成。平行光均匀照明被测样晶微透镜端面，经微透镜聚焦后在其后端面附近形 成光斑。将探针移动到光斑附近进行横向二维扫描，所得光学信号经光学探针收集后经光纤传输到 光电倍增管进行光电转换，再经放大和A／D转换为数字信号，由计算机重建成为光斑能量分布图。 本装置的另一个突出优点是可以对自聚焦透镜的工作距离进行精确测量。在光纤探针尖端固定有微 接触传感器(石英音叉)，经校准使传感器保持与光纤探针尖端平齐，通过与样品相连接的步进马达 使样品沿光轴方向接近探针，选择小步距马达和高精度一维平移台可使轴向分辨率达到04#m，最 定探针与透镜端面轻微接触时探针的位置为坐标原点，从原点起按 定步距(由步进电机性能决定) 进行逐层扫描，通过比较髯层光斑的大小，找出光斑最小位置即为焦平面，简单计算原点到焦平面 的距离就得到了样品的工作距离。图像处理模块对采集到的光斑圈像进行预处理，如背景梭正、F阿 滤波、从而消除随机噪声和各种干扰信号的影响，以获得较高质昔的图像，便丁分析计算。通过软 件处理，可以分析计算出光斑的各项参数。如光斑大小，任意截线上的能量分布：各截面的光斑的 比较等。并提供样品的工作距离和光斑的等效直径，光斑图像的3D显示等。以R(z)表示包含光 斑总能量x％部分所对应的半径。采用均方根直径算法(DMS)得到光斑尺寸如下， 毫I釜釜怪一 图1光探针扫描成像系统原理图 图2是直径2mm、Nd-0．46的自聚焦透镜在焦点附近测得的一系列横向截面上的光场分布，每 25／an。 幅图像的扫描范围是50#mX50pm，纵向间隔40／nn。测得最小光斑直径1 图2光斑扫描图像 图3E作位置与光斑尺寸关系图 图4光探针扫描法测量MT