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关于半导体工厂电压波动的一种解决对策
◇ 张 悦
(上海华虹NEC电子有限公司)
摘要 毫秒级的电压波动，足以使得半导体工厂的工艺设备发生停机从而中断工艺生
产，而生产线恢复运行也不只是重新按下电源按钮那么简单。每一次的电网电压波动，对
于一个没有自我保护对策的大型半导体工厂而言，至少花费4个小时以上，并且损失至少
一百多万美元。因此，传统的“补偿法”已无法抵抗大量工艺设备对电压波动的敏感程度。
通过对半导体工厂的工艺设备对电压波动的敏感程度的分析，对传统抗电压波动的“补偿
法”的分析，以及采用了“开关法”抗电压波动的原理及案例介绍。我们试图引入一种解决
Transfer
电网电压波动的全新方法或是概念，就如同我们第一次将SSTS(Solid-State
Switch)设备引入上海华虹NEC电子有限公司，把它作为解决电网电压波动的对策。通
过五年多的实际应用证明，这一方法是有效的：因电压波动引起工艺设备发生停机的事件
由原来平均每周1次，降低到平均每年只有1～2次。
1 电压波动的判定
半导体工厂对于电源质量的高要求源于敏感的工艺设备和工艺控制。它对于供电品质最重要的指
标之一一一“电压波动”的描述是毫秒级的，已不再是以前常说的2、3S的“电压低下”了。而传统工业的
工厂供电系统中其高压开关柜和变压器都无法“吸收”和“改善”来自电网的电压波动，只能在系统中起到
分配电源的作用。
看一下由美国计算机和商业设备制造协会电压幅值(％)
and
Business
(CBEMA--ComputerEquipment
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Manufactures’Association)提供的从各个半导体‘■—一一ib，·．1：
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工厂采集的设备停机的电压波动持续时间一电压百 i i1。I
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分比分布图(图1)，我们不难发现对于某些敏感的 ’
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半导体设备，即便是2个周波以上电压波动，哪怕电 !．!一· ·
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压波动幅值仅有3％，也已导致了设备的停机。
因此在半导体设备和材料协会(Semiconductor∞∞∞∞加∞∞∞如加m ．·……．．一…．．。!… ．．．．…．
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MaterialsInstitute)制定的SEMI
Equipment 1 000
10 100
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