应用于磁控溅射镀膜生产线的计算机监控系统的设计研究.pdf

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应用于磁控溅射镀膜生产线的计算机监控系统的设计 聂廷森 (肇庆市大力真空设备有限公司,广东肇庆526060) 摘要:本文介绍了一种成功应用的磁控溅射镀膜生产线计算机监控系统的设计,重点讨论了计算机 监控系统的硬件配置、软件设计、通信协议.控制过程实现以及软件编程中的控制算法. 关键词:磁控溅射镀膜生产线;计算机监控系统;易控(INSPEC);通信协议;控制算法 肇庆市大力真空设备有限公司牛产的DJW(L)系列卧式(立式)磁控溅射镀膜牛产线采 用1)c电源或中频电源控制平面靶、圆柱旋转靶或中频孪牛靶在T件l:溅射成膜,J一泛胁川 】二各种建筑玻璃、lrr0透明导电坡璃、家电玻璃、高反射后视镜及亚兜力镀膜等}J:、Jl!。l亥 系列乍产线在吸收欧洲同类牛产线的先进技术和镀膜工艺的同时,融合了独特的操f,I:人 性化、使用简便化设计理念,在用户群体中得到了充分的肯定。 在该系列磁控溅射镀膜牛产线中,一台10.4时Pro—face彩色触摸屏作为丰要操作界 面已经成为际准配置,工作亦较稳定。由于镀膜生产中需要控制的工艺参数较多,为了 更大地提高工作效率和镀膜工艺的可控性,我们设计了一套计算机监控系统来完成整个 牛产过程的监控和参数优化,从而使镀膜生产具有很好的工艺重复性,更适合.-1.jlj,化人 批量牛产的需要。 l监控系统的功能设计 根据牛产线工作状况和生产要求,该计算机监控系统设计有以下功能。 (1)模式选择:为了满足生产线的工作需要,该计算机监控系统设计了两种运行模式一 一用于镀膜牛产的自动监控模式和用于调试及检修的手动监控模式,两种运行模式可 自由切换。 : ’ ·’ .: (2)工艺方案选择:为了实现对多种工件的镀膜自动化,该监控系统设计了多种工艺方案 供使用者选择,设备运行前选择要使用的方案,或自行设定新的方案,然后开始镀膜牛产。 (3)数据检测记录:为了方便用户监控工艺过程,分析研究工艺参数的作用,及时调整 工艺参数以获得更好的镀膜效果,该监控系统:1)实时显示各磁控靶电源电压、电流、 各真空计数值、气体流量等参数数值;2)定时记录设备运行情况,每30分钟记录一次, 或按要求随时记录;3)记录重要工艺参数,并形成报表文件和历史曲线。 80 (4)故障报警记录:1)在设备出现故障时监控系统自动弹出报警画面和文字提刁÷,l舀J11寸 报警灯闪烁;2)记录所有报警信息,以备检修时查询;3)根据故障的轻重缓急,Ⅱj. 对报警信息进行分类。 (5)自动诊断保护:这是一种保护措施,减少因故障对设备造成的损害,书要表现在: 1)当设备出现严重故障时,监控系统可自动关机;2)磁控电源开肩后,对其电压和电流 实行缓.丁1.,缓降以保护电源;3)可自行检测上、下位机通信是否正常。 (6)操作权限限定:利用该功能可以限制一般用户的权限,防止误操作,减少出错几 率:同时还可以实现控制和监视的统一。 (7)其它功能:该计算机监控系统还设置了系统时钟、设备输入输出点j‰控界曲i、砹 备操作说明界面等方便用户查询、使用的一些实用功能。 2监控系统的构成 本计算机监控系统由上位机、下位机和通信I办议二部分构成,系统硬什结构如图l 所示。 上位机用于监控牛产运行状况和生产工艺数据,完成对镀膜牛产的全部控制,并将获取 的历史数据,作为镀膜效果检测分析的一项凭据。由于上位机所处的环境干扰较小,所 以选用普通的PC机,操作系统采用通用性好、功能强的MicrosoftWindowsXP。监控和数 强大、性能稳定、图形精美、易学易用、开发高效及扩展容易等一系列优点,它采用高 级语言C#作为用户程序(脚本)语言,能很好地满足控制的要求。采集和数据显示的功能 也较完善,只要安装好设备的驱动程序就能与各种PLC、智能仪表、板}及变频器等设备 进行通信,还可以与其它计算机相连,组成一个企业的分布式生产毹:理网络。应用易控 : ·

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