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芯片制造业防范电压骤降最佳对策
O翁天瑞
(中芯国际集成电路制造有限公司北京厂厂务工程处)
摘要在中国芯片制造产业，就目前的规模来看，无论在生产技术或产量规模已经取
得相当辉煌的成绩，但是在对这种产业的配套要求方面的探讨相对较少，这种工业生产
的工艺过程中对水、电及气供应的稳定要求非常高，本文主要探讨供电质量对其生产的
影响，根据过去的运行的经验，试图提出一些方法，做为相关专业人士参考，也提供了
因供电质量问题所必须注意的现象及过去所使用过的防范手段，希望能藉此取得各专业
人士的回响，帮助该项产业在生产方面稳定度的提升。
关键词压降发动机不断电系统洗涤塔
has achievementin foundries
AbstractChinabeen semiconductor
makinggreat
inthefieldofFAB andFAB
manufacturing，especiallyscale，technologycapacity．
However，semiconductorhas forits
foundry requirements
industryextremelyhigh
as affiliated a rolein
the
process．Facilitiespart，itplayingveryimportant
manufacturing
the of
water，electrical，Gas／Chemical
providingstability supply．
Thisarticleis focusonthe quality’S tofoundries
mainly powersupply impact
manufacturing．
As comewithsomeideasandmethods
permypreviousworkingexperience，Iup
forprofessional’S
also on
carriedoutinourFAB．Inaddition，some needtobe atention
phenomenon pay
articleshallbehaveanechofromthe
supplyquality．Hopefully，it professionals，
power
and achievethe of onsemiconductorfoundries
stability
finally progresspowersupply
manufacturing．
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