Si基二维孔构ZnO周期结构薄膜生长及性能研讨.pdfVIP

曲阜师范大学 硕士学位论文 Si基二维孔构ZnO周期结构薄膜生长及性能研究 姓名：崔秀芝 申请学位级别：硕士 专业：凝聚态物理 指导教师：苏希玉;杜小龙 曲阜师范大学硕士研究生毕业论文 摘 要 近年来，随着显示器、照明及信息存储技术对短波长光源需求的日益增长，使得短波 长LED和激光器等发光器件的制作越来越引起人们的重视。宽禁带氧化物半导体材料 60meV而成为更适合于室温或更高温度下工作的低阈值短波长发光材料。 光子晶体是一种由不同介电常数的材料周期性排列构成的一种新型材料。这种材料对 光的周期布拉格散射使得一定频段的光不能在其中传播，从而形成类似电子带隙的光子带 隙。利用光子晶体，可以控制材料的自发辐射，从而控制光子的运动与传播。二维平板光 子晶体在控制自发辐射方面取得了巨大的进展：它可以抑制面内的自发辐射，使垂直板面 的自发辐射发光得到极大地增强，从而大大提高了发光效率，因此可用来制作低阈值激光 器等发光器件。ZnO作为优越的短波长发光材料与光子晶体的结合已经开始引起人们的广 泛关注。最近几年关于Zn0光子晶体材料制备的报道越来越多。但是，高质量单晶ZnO 光子晶体材料的生长仍然是人们迫切需要解决的一个关键问题。本论文针对这一难题，利 用射频等离子体辅助分子束外延法探索了Si衬底上具有二维周期结构的高质量ZnO薄膜 的生长。 我们首先对Si衬底表面进行了预加工，获得了孔形的周期点阵结构，然后在该衬底上 外延生长了具有相同周期结构的znO薄膜。利用该方法，我们有效地避免了先生长再加工 对膜造成的机械损伤及杂质离子的污染，制备了具有较高结晶质量和较好表面形貌的ZnO 周期结构，为ZnO光子晶体的制作及其它基于周期结构的光子器件的制作提供了一种新颖 的方法。 采用低温界面工程+ZnO双温缓冲层方法生长ZnO周期结构薄膜，利用反射式高能电 子衍射、X射线衍射测试，扫描电子显微镜等技术，系统研究了不同晶面取向的Si衬底及 貌具有重要的影响。利用Si(111)衬底，我们进一步研究了生长温度对薄膜形貌的作用。结 果表明：高温下生长的ZnO外延膜不仅具有较高的结晶质量，而且具有较好的表面周期形 貌。 关键词：znO；分子束外延；Si衬底；光子晶体；反射式高能电子衍射；x射 线衍射；扫描电子显微镜 曲阜师范大学硕士研究生论文 Abstract znOis of廿lemoSt mat耐alsiIl collsidered嬲oneproIllising forits埘de e血on optoelec咖血capplicatiolls b粕dgap(3．37eV)andla唱e b砌ing mat嘶als a dielectric energy(60m每V)．Fonnedby pattemed谢mp商odici锣in aPCⅡle emission sp0吡meous cr)rstals(PCs)havephotonicb锄dgap(PBG)Ch撇cteristics．In be h嬲beenac址eved delicatelycon臼．0lled，wllich (SE)call 2DPCslab咖cturesar