2010全国微细制造作品说明本作品为圆柱状之龙形浮雕图细微加工.pptVIP

中華民國九十九年六月四日 指導單位：教育部技職司 主辦單位：東南科技大學 微/奈米科技研究中心、東南科技大學機械工程系 協辦單位：教育部區域產學合作中心－國立台北科技大學 作品說明： 　　「精微結構-台北101大樓」之作品，以微線切割放電加工法成型。加工原理如圖1所示，以一直徑13 μm微細鎢線為電極，搭配自行開發「電阻電容迴路(RC current)」、「微線割機構」、「線張力控制機構」及「短路自動退刀」等技術加工而成。在製作方式上，一直徑800 μm的碳化鎢(WC)電極，由精密主軸夾持，微細鎢線以水平方式運行，採用反向式放電法，由上而下進行切割，放電殘渣(Debris)受自然重力及加工油的微流作用，能迅速被帶走，可避免發生短路與產生二次放電的機會，設計如圖2所示，當一面完成後，主軸由伺服控制精密旋轉90度，即可繼續切割另一垂直面。成品如圖3所示，切割物件無論是表面或外觀造型，均具很好的形狀精度及表面粗糙度，顯示開發之微線割技術是可行的，可應用於精微結構的加工上。 第一名 2010全國微細製造 編號 姓名 單位 題目 名次 獎金 01 陳順同、楊弘意、杜致緯 國立台灣師範大學 工業教育研究所 精微結構- 全世界最小的101大樓 第一名 5000元 作品說明： 　　本作品節利用掃描式電化學放電加工法，藉由Z軸少量的進給及層狀的銑削，來幫助電解液在微槽內流動的情形。在進行層狀掃瞄加工前，必須先確認在不增加加工深度的狀況下，水平方向的往復移動工具電極(類似機械銑削加工中的空跑) ，觀察對於流道的尺寸精度與表面形貌是否有影響。之後再配合NC路徑的控制，在Pyrex玻璃上製作出複雜且不同外形之三維微結構。 電極形狀為圓柱電極直徑200 μm，加工脈衝電壓40 V，脈衝供給時間（Ton）：脈衝休止時間（Toff）＝ 2 ms：2 ms，電極轉速設定為1500 rpm，電極進給速率為1000 μm/min，工作深度為50 μm，利用掃描式加工配合NC控制，進行各種微結微結構加工應用。 第二名 用掃瞄式電化學放電銑削加工法於三維加工 編號 姓名 單位 題目 名次 獎金 29 鄭志平、顏炳華 吳坤齡、黃彥碩 工研院、中央大學、 東南科技大學 機械工程系 用掃瞄式電化學放電銑削加工法於三維加工 第二名 4000元 2010全國微細製造 作品說明： 　　本作品為厚膜高分子材料所製作之45°微型光學反射鏡組，其高度約1.4mm，鏡面表面粗糙度約為20nm。作品採用微機電厚膜光阻製程，以自行設計之傾斜曝光機構製作而成。製作時先將SU-8高分子材料旋佈於玻璃基板上，再經由最佳化之軟烤、曝光、曝後烤、顯影與硬烤、鍍膜等製程參數，而成功製作出”成對式” 45°微型光學反射鏡組，可解決微光學系統中組裝及對準之問題。圖一為可應用之積體化微光學讀取頭設計，包含45°微型光學反射鏡組、HOE及非球面透鏡。圖二為製程示意圖，包含(a)微鏡面組(b)微稜鏡組。圖三為WYKO量測鏡面斜面表面粗糙度~20 nm(316 μm X 286 μm)。圖四為經傾斜曝光及劑量控制所顯影出特殊之高分子(a)45度成對微鏡面及(b)懸臂樑結構。 第三名 編號 姓名 單位 題目 名次 獎金 06 洪國永、陳盈全 明志科技大學 機電工程研究所 45°微型光學反射鏡 第三名 3000元 2010全國微細製造 佳 作 編號 姓名 單位 題目 名次 獎金 03 池旻鍵、黃仁清、卓君杰 東南科技大學 機械工程系 利用微細鎢針與鏡面蠟板製作PDMS壁虎腳指結構 佳作 1500元 作品說明： 本作品是一種以電化學、傳統CNC加工技術與結合PDMS真空澆鑄法來製作出類似壁虎腳上纖毛排列之創新製程。首先以電化學法製作出的微奈米鎢探針如圖1所示。再運用傳統CNC加工方法，以微奈米級鎢探針在平坦蠟模上壓製出微奈米孔洞結構，如圖2所示。再以聚二甲基矽氧烷(PDMS)材料以真空澆鑄法翻製作出類似壁虎腳指結構，如圖3所示。 由圖4之SEM圖可發現以壓印後的蠟利用PDMS翻製而成的成品顯示，其成形性相當良好，尖端部份翻印完整度達95%以上。此法可製作出大面積及可重複使用和回收之模具，對於傳統加工技術與奈米仿生科技做出一種突破性的結合。 2010全國微細製造 作品說明： 本作品為石英基板之陣列微細孔。此微細孔是係利用直徑200mm的碳化鎢刀具以電化學放電加工製作而成，由於此製程技術主要是以高溫熔融材料，且此高溫可加速電解液蝕刻的速度，因此不但加工速度快，且加工精度及輪廓皆優良。從圖中可以得知，在各微細孔間隙為0.5mm之下，並無脆性破壞的現象產生，從此點可證明，電化學放電加工相當適合應用於石英基板之加工。而本作品之微陣列孔應