Waveguidesurfatron型表面波等离子体源的特性研究.pdfVIP

Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性研究 詹如娟吴丛风 朱小东 黄卫东温小辉武帅 周海洋 (中国科技大学近代物理系 合肥 230026) 摘 要 本文报道了所研制的用Waveguide-surfatron激发的表面波等离子体源的特性，理论计算表明 激发表面波模式为M-,]模，在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出，采 书Ar气放电 在气压为 10-1000Pa,微波功率小于 1000w的范围内可形成大面积 (直径为 160mm), 人体积均匀等离子体 其电子温度为 1-4cV.等离子体密度为 100cm3,实测的等离子体密度值与理 论计算的值基本相吻合 关键词:Waveguide-surfatron大面积均匀等离子体源表面波模 }引言 随看微波等离子体 午用不 妞之发i; 和向国氏经济各人领域的深入、对等离子体源也提出了 更i的要求，尤其是材料科兮及:I.子学的发展.加工基板尺寸的不断扩大。无论是对刻蚀，沉 识 还是表面改性 一个能在较宽气压范围内实现大面 ‘体)积均匀的等离子体源显得十分重要， 近年来加幸大，日本.法国，德国等一些研究工作者在积极寻求用表面波