新型环保硫酸双氧水微蚀体系前处理工艺研究与应用.docx

!矍丝竺三竺型!!竺竺!!竺竺!!：竺!竺!!：!!：兰量苎量!!!堡童!竺曼兰耋新型环保硫酸一双氧水微蚀体系前处理工艺研究与应用Pa∞rCode：A_039来兴华 珠海方正印刷电路板发展有限公司摘要前nⅡI艺是即甜t路板科作十非常重要的I序．*型4保硫酸一R氧水m*“§置Q．甜目前m学臂＆mI￡《域的主善斜克i向未定根#m学m*的基丰原4，e折7新!#镕砘＆一H氧mm*体g前《Ⅱi￡的特点，井¨攀7#I艺∞#*应m 关■词前扯a；磕酸-取簟水馘蚀体系：环保：印制电路板中田丹娄号：TN41文献#嘏码：^文童蜥}：100扣00帖【2011】增刊．006“06l乇esearch and application on new green suIfuric acjd and hydrogen peroxide micro—etching pretreatment processAbshnP”lmalment p㈣s an{ po『lant p删m lhc produclIon of"Intcd cImult b啪m，∞zHUⅪ”g·k∞【o㈣mh nc”gn ulmrⅧid and hyd|oge“pcroxldc micm—e【ching 8y蚍m Is a tmnd l 眦nt曲㈣al m删"hl“gp删ma咖enta啪B4sed onme b∞IcⅣmcIples ofcbe咖calmicro{tchlog，th；s amcIe aMly∞sIhc kclInlqueht州nd p州ldesthe panlcuJarappllcnIon orne”gmen ch啪lcalmicr》e【chIng p㈣Key wOrd8PreIreatment：SuIfurIc acId and hydrOgen peroxide micrO—etching system：Envl∞nmenbI pm№dion：P^n№d circun boaⅢ(PCB)刖吾 前处理l，艺被J泛应用在印制电路扳制造流挫中的并^环节．如嘲形转移、压台、电镀、阻焊、表面处理等各个I序。fH场观有的前处理I：艺有许多种．其作用与“的主要是用J锕嘶*洁和粗化，增人铜面的微观租 艟度，提高界州站台J』．常见的前处理1艺根据作用原理的不同．蕾蛰有电解脱胎法、化学做蚀法、机械尉脐 和喷砂(Pllmm)灶g等矗法-不刚的前处理I．艺具有十州的忧缺点．选择台适的前处理T艺tⅡ订教提高的产品良率和产品可靠性．过去通常采川物理方法如刷孵、喷砂等方法作为前处理I岂，但在簿扳的曲势下，尉廉 导致的尺寸变化不Ⅵ避免．而唼砂法叉台导致小孔雕摩与污染，圜此采用化学方法作为前处理』．艺成为必拣趋 势．尤其是化学徽蚀法拒捕细陶形转转和m蜱前处理J，岂上的应川．近10年米，舶着电了产品多功能化和小型化的高速发艇．印制电路扳的导线宣度与问距在以每年6 um的 幅度趋向辅细化，如夸75¨m的导线宽度E成为主流设计，n押能终端电子产品上50 um的导线宽度也已开始201 1秋季国际PCB技术／信息论坛图形形成与蚀刻Pattem Fornlation and Etching应用。同时，移动通信的发展对高速信号传输的完整性要求越来越高，平整的信号传输线可有效降低信号传输 的“趋肤效应”。因此，精细导线成为高端印制电路板制作的主要难题之一，作为精细图形转移第一步的前处 理工艺，对产品品质的好坏起到决定性影响，从而引起了同行业者的研究热潮。本文从化学微蚀的基本原理出发，对新型环保硫酸．双氧水微蚀体系前处理工艺(也有称之为“超粗化”)进行研究，并以图形转移和阻焊为 例，分析其在印制电路板中的应用。2环保型硫酸一双氧水微蚀工艺的基本原理微蚀是蚀刻的一种，常见的化学微蚀有硫酸一双氧水、硫酸．过硫酸钠、硫酸．过硫酸铵、盐酸．氯酸盐111等， 基本原理是利用双氧水、过硫酸钠、氯酸盐等在酸性环境中的强氧化性，与铜面发生氧化还原反应，同时硫酸 与铜面的氧化物反应，从而达成清洁和粗化铜面的目的。新型环保硫酸．双氧水微蚀工艺的基本原理是利用双氧 水的强氧化性与铜面发生化学反应，反应方程式如式(1)：H2S04+H202+Cu——专CuS04+2H20(1)同时在添加剂的作用下，达成良好均匀的粗化效果，过程所产生的废液通过电解原理将铜离子回收后再循 环利用嘲，反应方程式如式(2)：阴极反应：Cu2++2e一—_Cu 阳极反应：20H一一2e一—-H20+l／202(2)硫酸．双氧水体系微蚀工艺的作用过程如图I所示。l新液添加●一E亘)一E蕉≯-≤赢l阴极反应：H202+2e。—寸20H。 阳极反应：20H．_2r—斗H20+l，202阴极反应：cu2++2r—÷Cu 阳极反应：20H—j2c·—÷H20+l，202图1环保型硫