硅片车间.ppt

硅片车间主要任务 首先使用破锭机将硅锭切割为硅块；进而使用线锯将硅块切成硅片。 硅锭大小：400kg—840*840*250mm 硅块大小：156*156*250mm 硅片大小：156*156*0.18mm 工艺流程 备料—浆料准备—破锭—硅块检验—研磨倒角—粘接—线锯切割—硅片清洗及分选包装 破锭及线切原理：利用高速运动的钢线带动腐蚀性的切割原料（SiC）将脆性材料硅进行切割。 碳化硅又称金钢砂或耐火砂。其硬度介于刚玉和金刚石之间,机械强度高于刚玉。 常用的碳化硅磨料有两种不同的晶体，一种是绿碳化硅，含SiC 97%以上，主要用于磨硬质含金工具。另一种是黑碳化硅，有金属光泽，含SiC 95%以上，强度比绿碳化硅大，但硬度较低，主要用于磨铸铁和非金属材料。 切割液：SiC与悬浮液的均匀混合物。切割液比较粘稠及滑，因此需要防滑。 质量标准 合格不合格标准 不合格：有裂纹，破碎，缺角。 合格： A等 B等 B1尺寸不合格B2微晶片B3少子寿命短 B4小崩边B5电阻率缺陷B6划片125 B7锯痕B8薄厚不均B9赃污片 一、浆料准备 工艺流程：清洗浆料缸—导入悬浮液—碳化硅烘干—添加碳化硅—密度测试—充分搅拌——使用 工具： 浆料缸 电叉车 中转缸 1.清洗浆料缸，用压缩空气吹干。 2.悬浮液：悬浮液为有机溶剂，一般为多元醇。 3.烘干：使碳化硅其在悬浮液中分散更均匀。在烘干箱中温度为750C，保持2-3个小时。 4.测试：首先将一大塑料桶（1000L，1100kg）悬浮液加入中等搅拌缸（2000L），然后等间隔（10分钟左右）加入SiC（每袋20kg），加完40袋。导入大型搅拌缸（8000L）搅拌8小时，测量密度1.625kg/L。 注意：对于破锭机SiC型号800#，对于线切为1200#（约10微米），型号越大表征SiC颗粒直径越小。 二、破锭 工艺流程：编织线网—粘接硅锭—切割—取块—清洗 破锭工具： 手锯 刀片 天车 扳手 游标卡尺 电叉车 劳保用品： 防水套袖 防滑工作鞋 手套 防护眼镜 工作帽 原料： 浆料 钢线 绝缘转子 1.线网编织：确保线网垂直工作台，线与导论槽位置正确。 2.粘锭：使用发泡胶将400kg硅锭块速粘接在钢板上，使用工具车确保硅锭居于切割台线网的中央。 3.切割：热机使浆料达到预定温度，核实线网正确。 4.取块：首先升起工作台取走边料及角料。 5.清洗：用清水清洗硅块上的砂浆。将行编号，将硅块从钢板上取下，并清除其底部的泡沫胶。 破锭机结构 1.切割室（工作台，支撑桌面，线导轮） 2.马达室 3.浆料室 4.绕线室（收线轴，放线轴，张力臂，滑轮） 5.配电柜 （断路器，保险，接线端子，变频器及PLC） 6.控制面板 7.水电气管路 破锭工艺参数 工作台下降速度600um/min，采用往复切割回线率95%。最大线速度13m/s。砂浆密度1.63kg/L,砂浆流量160kg/h,张力臂50N。 报警温度：上砂路270C,上导轮300C。 浆料更新：每切4次更新30L。至第21次全部更新。 维护：导轮、绝缘转子及钢线的更换，电机的润滑。 破锭机维护 各推拉门门锁螺丝需紧固 注意门锁插头与门锁的配合情况 浆料泵及搅拌电机插头插座的干净 各个冷却空调下接冷凝水的小壶里的水量 机床顶盖需盖好，保持马达室内少进尘土 操作屏贴好保护膜防止屏幕进浆料 操作屏摇臂松动需紧固弯头处螺丝 织线网时注意观察各滑轮旋转是否灵活，保护气体的气管是否漏气和有效 取锭电叉车的舵柄和车身要保持干净，不用时要保持充电状态 三、检验 1.检测内容：检测硅块的尺寸，PN型，电阻率，少子寿命，阴影（杂质）。 2.仪器：PN型测试仪，四探针电阻测试仪，少子寿命测试仪（激光），红外阴影测试仪。 3.检测标准： 尺寸：一级156+0.5mm,角度90+0.30 二级156+0.8mm,角度90+0.30。 电阻率：一级0.5-2欧姆.厘米。二级大于2欧姆.厘米 少子寿命：一级大于2us,二级1-2us。 阴影：位于209mm内块状阴影部分必须切除。 四、研磨倒角 工具：倒角机床，研磨机床及带锯。 带锯倒角 研磨机 倒角机 带锯 磨床 劳保用品 防水套袖 防滑工作鞋 手套 原材料 无水乙醇 锯条 砂轮 标准：研磨（抛光）平滑度小于0.1mm；倒角一级1.5+0.5mm，45+100，二级1.5+0.8mm，45+100 参数：倒角机切削速度200mm/min,**速度1200mm/min。带锯，锯带张力500kg,硅块切削速度300mm/min。 维护 带锯 及时清理从动轮周围的淤泥 保持触摸屏的干净用膜贴好 根据情况更换带轮的O形圈，一般每月全部更换 一星期清理一次电气柜的卫生 研磨机 控制面板用