基于体硅工艺的微夹持器设计.pdfVIP

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2018-04-07 发布于北京
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基于体硅工艺的微夹持器设计.pdf

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清华大学学报自然科学版年第卷第期 !# $%%%%%’( - .*%%+ (+ ’ *%,+B )# $$***+,# - .= *%%+= A(+= A’ B’’B’C /012345678329 :2;0:5 ?@ #? 基于体硅工艺的微夹持器设计李勇= 李玉和= 李庆祥= 訾艳阳清华大学精密仪器及机械学系北京 - = $%%%C(. 摘要为克服静电致动微夹持器夹持力小运动范围小的操作工具的研制受到国内外广泛的重视本文研制 D ! G 弱点设计并研制了一种基于体硅工艺的微夹持器建立了 # 了一种具有柔性夹持臂的大深宽比梳状静电驱动微形柔性夹持臂力学模型借助有限元方法进行结构优化 $ ! 夹持器该夹持器具有良好的性能 = G 夹持臂模态分析以及静电驱动器对微操作对象影响的估算# 研制成一种大深宽比梳状静电驱动微夹持器释放了等效长 ! 梳状静电驱动模型度达的柔性夹持臂该夹持器采用了导电型并接梳状静电驱动具有运动范围大可控性好的特 %’() # ** 0 地连接的柔性微夹持臂可防止静电对操作的影响柔性结点是微夹持器较理想的驱动方式其单一梳齿模型 = = 构有效解决了静电力小与硅材料的弹性模量高之间的矛盾如图所示 $ G 使微夹持器的夹持力输出大大增加# 关键词微夹持器有限元方法体硅工艺 D + + 中图分类号D *($P $$’ 文献标识码D 0O 0Q R 文章编号D$%%%%%’(-*%%+.%’%B’’%( STUVWXVTYYZV[\]Z^W_]T‘TUW_ [a‘bcTUVWc\UdT_T_X efghij=efgklm=efnoijpoqij=rfgqisqij 图梳状静电驱动器模型 ! -tZY\VucZ_uWvwVZUT]TW_x_]uVacZ_u]\_^SZUd\_W‘WXy= 图中梳齿间距为梳齿宽度为