超纯硅烷的产业化发展之路研究.pdf

i．。““ ’tt：】工．，，又瓜扁 企业发展篇 超纯硅烷的产业化发展之路 林培川 (南京特种气体厂有限公司211113。江苏南京) 一、前言 电子气体是微电子、光电子不可缺少的原材料，是确保电子工业高科技发展的最基础的环 节。与世界发达国家相比，我国的材料科学发展比较落后，许多电子气体品种都依赖进口，而这 种思路越来越变得不可行了，因为发达国家为了自身利益，必将限制高技术含量的原材料的出 口，或者设置一定的障碍来限制约束你。由于电子气体的性质多属易燃、易爆和有毒等特点，其 生产设备和条件的要求都较高，需要从业人员有极高的业务素质，又需要非常大的资金投入，且 电子气体除了上述特点外，由于它主要用于Ic工艺的各个环节，要求是“超纯”、“超净”、“超 前”，有的品种用量相对较小，但是又不可缺少。 超纯电子气体的生产、提纯和检测技术的研究需要非常大的资金和人力的投入，且周期较 长，单靠某个部门和企业独立开展此项工作在目前的市场环境下是不现实的，也是不可行的，必 须得到国家有关管理部门的支持和资金援助。通过国家对电子气体产业的扶持和引导，我国 Ic产业的发展需求必将带动气体企业做大、做强。在未来的若干年内，许多高纯和超纯电子气 体完全依赖进口的局面将被打破，一些技术比较成熟且有一定研发基础的电子气体品种如 用，随着我国Ic产业的高速发展，电子气体的研发、产业化必将得到高速发展，市场占有率也将 不断提高。 硅烷是电子气体中最重要的品种，它主要用于半导体多晶硅、外延片、硅器件纯化膜和聚硅 膜原料气体。国际上硅烷制造工艺主要采用UCC法，可实现连续生产、产能高，在大规模的硅 烷生产中得到了广泛使用。而我国硅烷生产始于20世纪70年代，所有的厂家都采用日本小松 电子的硅化镁法，由于受当时的条件限制，尽管做了大量的先期研究，但最终都停止生产。目 前，只有南京特种气体厂有限公司还进行少量的硅烷生产，且产量低，年生产能力不超过 soooM。纯度不超过99．99％，产品主要用于硅化玻璃的生产。 超纯硅烷的生产涉及硅烷原料的生产工艺、粗品提纯、杂质成分分析检测、包装贮存技术等 各个环节，目前，国际上硅烷纯度已经达到6N以上，而我国硅烷的国家标准为2N，最新修订的 还未发布实施的国家标准为3．5N，与国际先进水平相去甚远，要解决纯度由4N提高到6N，要 走过漫长的道路。有许多的技术问题要解决，要采用新的工艺、新型吸附剂、催化剂的研制生 产，和杂质元素构成分析和检测难题，新型包装容器、内壁处理技术的问题要解决，等等。 二、国内外超纯硅烷质量水平分析 1．硅烷气体的纯度 电子气体是一个系统工程，涉及到气体制造和深度提纯技术；气态和液态杂质成分的控制、 纯化和分析检测技术；气瓶及管道内表面的处理技术；有毒废弃物和尾气的解毒回收安全处理 技术；气体纯品的包装、贮存和运输等技术等。 9l 中国工业气体行业发展高峰论坛论文集 通常每种电子气体有几个品级，以满足不同品级集成电路制造的要求。硅烷产品根据要求 不同，分为电子级、外延级等多个品级。 表1 国外某气体公司硅烷电子气体质量标准 6N 4．7N 4．0N ＼ ≥99．9999％ ≥99．997％ ≥99．99％ 杂质成分j孓 At／10—6 O．05 1 15 C02／10—6 O．晒 0．5 1 CO／10—6 0．05 O．5 1 氯硅烷。／10“ 0．