超磁致伸缩薄膜低场性能及应用研讨.pdf

第六届全田表面工程学术套议 兰，II 2006年B月 超磁致伸缩薄膜低场性能及应用研究 刘吉延1，马世宁10 (1．全军装备维修表面工程研究中心，北京100072； 2．苒制造技术国防科技重点实验室，北京100072) 摘要：综述了超磁致伸缩薄膜低场性能的研究进展，详细论述了低磁场超磁致伸缩获取的途径， 讨论了超磁致伸缩薄膜在各种技术领域中的应用，并对超磁致伸缩薄膜材料的地位及其今后的发展 作出了展望。 关键词：薄膜，超磁致伸缩，低磁场，磁传感器 超磁致伸缩材料是一种重要的能量与信息转换功能材料，在许多应用领域呈现出重要的使用价 值及广阔的应用前景，从而受到人们的普遍关注。随着自动控制、微型机器人、纳米测量技术等高 新技术领域的发展以及信息技术的集成化、微型化、精确化发展要求，超磁致伸缩材料的薄膜化成 为必然趋势，超磁致伸缩薄膜研究取得了长足进展。超磁致伸缩薄膜因其具有大的磁致伸缩效应、 高频响应速率、非接触控制以及高的机电耦合系数等优点而逐渐将被广泛用于军事、航天航空、工 业、科技及民用等领域，展示出很好的应用潜力。 超磁致伸缩薄膜在微型机电系统等领域中的实际广泛应用，要求其在室温条件下能产生大的磁 致伸缩效应。研究表明，稀土．过渡族金属磁致伸缩材料具有高的居里温度Tc以及超磁致伸缩应变， 因而在超磁致伸缩薄膜领域具有非常重要的地位而备受关注。但另一方面，一般实际应用都要求磁 场大小要低于79．6kA／m，并且要求磁致伸缩材料在低磁场下要有足够大的磁化系数(Xx=d入l／d (u oH)2x10。寸1)。而且具有低的矫顽力(Il01％≤100mT)【l】．然而研究发现，稀土一过渡族金属 超磁致伸缩材料具有巨大的磁各向异性，需要在强磁场条WF才能表现其超磁致伸缩效应，从而限 制了其实际的广泛应用。因此，如何降低材料的磁各向异性、获取材料的低磁场下的超磁致伸缩性 能，成为近年来超磁致伸缩薄膜领域中的一大研究热点。各国研究者在超磁致伸缩薄膜低场性能方 面做了大量工作，取得了重要进展，并同时进行了实际应用研究。 1．超磁致伸缩薄膜的低场性能研究 1．1采用磁晶各向异性相反的稀土一过渡族金属配制赝二元系化合物 从而广泛应用于块体超磁致伸缩材料之中。而对Tb-Dy-Fe磁致伸缩薄膜的研究【2删表明，尽管Dy 元素的加入降低了，I．b．Fe薄膜的饱和其磁致伸缩入s，同时也降低了其居里温度Tc，如表1所示，但 对薄膜的低磁场下的磁致伸缩应变有一定程度的提高。 根据单离子模型，PrFe2应具有比DyFe2更大的各向异性磁致伸缩。因而利用稀土元素Pr部分 体系中各向异性的抵偿就要求高的Pr浓度。然而，如果稀土亚晶格中Pr含量超过20一--25％的话， B元素的添加来抑制(Tb,Pr)Fe2体系中对磁致伸缩有危害的富铁相的生成，取得了较好的实验成 果。 1002 第六届全国表面工程学术会议 兰州 2006丰8月 表1．几种材料的饱和磁致伸缩应变九。及其居里温度Tc 1．2利用非晶材料的低宏观各向异性 非晶R．Fe合金中最有望得到室温下超磁致伸缩系数的是RFel．5【5t61；不过由于(Fe，Co)中 T-T间的铁磁耦合作用往往强于Fe基或Co基合金中1-T间的相互作用，从而可以提高合金的磁致 X 上，非晶Tb(Feo．4sCoo．55)2在2T的磁场下已得到入乱2=102010西的磁致伸缩系划刁。 磁致伸缩系数的影响进行了研究。发现co元素部分取代Fe元素可以明显降低非晶(Tbo．zTDyo．73) (Fel．xCod薄膜的矫顽力，并提高薄膜的磁致伸缩系数。而磁场下的退火处理具有同样的效果，经 处理改善了薄膜的软磁性能瞄】：经TA=350。C的热处理后，poHc低于5mT,xx=1．8×10一下1( poH=10mT时)． 1．3材料纳米晶化 非晶TbDyFe薄膜应用于微系统技术的—个大的缺点就是其较低的居里温度Tc、400K。而多 晶Teffenol-D薄膜虽然具有高的居里温度Tc但由于其较高的矫顽力场因而并不适应于低磁场条件 下微系