采用等离子体浸没注入方法对材料进行改性的研讨.pdf

摘要 等离子体浸没注入是近年来兴起的一种新型的材料改性手段。相比于传统的 束线离子注入技术，等离子体浸没注入克服了视线效应的限制，具有注入效率高、 对三维物体处理能力强、与集成电路工艺相兼容的特点，在金属材料、高分子材 料、陶瓷材料等的改性方面具有广泛的应用前景。我们主要参与了等离子体浸没 注入设备部分的搭建工作和后期的调试、故障的处理方面，且对若干种材料进行 了等离子体浸没注入的改性工作，并分析表征了注入前后样品各种性质发生的改 变。另外，使用相关软件进行了一些模拟工作。 3l 使用等离子体浸没注入设备对AISI6不锈钢进行了注N的工作，并分析 了注N前后316不锈钢在抗点蚀性能上发生的变化，探讨了点蚀电位提高的原 因，并提出了一种新的说法。 使用等离子体浸没注入设备对AISI304不锈钢进行了注N的工作，分析了 注入后的样品与注入前相比．在抗点蚀性能上的变化。并且利用XR．D、XPS、 SIMS等各种表征手段对变化的原因进行了分析。 使用等离子体浸没注入设备对金属n片进行了注N处理，并且进一步将其 氧化为西02薄膜。通过对1ri02薄膜的表征，发现注N处理以后的薄膜在光电流 比未注入样品更大，纳米多孔结构的Ti02比平整的Ti02光电流更大。文章中进 一步分析了这两种现象的机理。 关键词：等离子体浸没注入、316不锈钢、304不锈钢、Ti02薄膜 田 l I T I I[IF[[117 lIllr P III ＼1 Abstract Plasmaimmersionion anew ofmodificationformaterials implantation(FIII)iSway recent totheconventional hasthe which years．Compare implantations，itadvantage can thelimitationof hasthe of overcome effect，besides，it light advantageshigh for three-dimensional handling objects，andcompatible implantationefficiency,strong withtheIC hasawide of inthe technology,andrangeapplicationsmetal，polymer take inthe ofPIII andceramic’Smodification．We mainlypart process equipment ofmaterial’S andthe