超声电机的发展与展望研究.pdf

超声电机的发展与展望 周铁英陈字 (清华大学物理系，北京100084) 1引言和回顾 超声电机是利用压电材料的逆压电效应制成的新型驱动器。它由定子、转予以及施加预 压力的机构等部件构成。把超声频交变电压加在压电陶瓷上可以在定子表面产生超声振动， 通过定子与转子之间的摩擦力驱动转子运动[1．2】。超声电机是多学科交叉的学科，它集超声 学、振动学、材料学、摩擦学、电子学和控制科学为一体，需要众多领域合作研究。与电磁 电机相比，超声电机的主要特点l、大力矩低转速，不需减速机构；2、能量密度大。可达 电磁电机的3—10倍；3、响应速度快，仅ms量级；4、定位精度高；5、无电磁干扰：6、 因为靠摩擦驱动，具有自锁功能。 1982年日本成功地开发出行波型超声波电动机．仅在5—7年之后，佳 利1948年授权[31。 能、新生等几家日本公司就把超声波电动机推向市场，其中相机和打印机最为成熟。近期 投放市场的分布图【4】，其中照相机和工业机械的市场占有率为88．2％，医疗器械5．9％，汽 车电器3．6％。 图l1998年日本超声电机投放市场的分布图 如图l所示，日本用于照相机调焦的主要超声电机是佳能使用的行波型和摇头型，有数 百个专利，基本形成市场的垄断。现在，除了日本之外，美国、德国、法国、瑞士、南韩、 土耳其、新加坡等都有超声电机产品进入市场。美国的一些有名大学。如Stanford、Wisconsin、 力从事超声电机的研究。美国某些公司生产的超声电机产品已经在航空航天、半导体工业、 MEMS、和BioMEMS等领域先后得到应用。 中国的产业化进程相对缓慢。 我国超声波电动机的研究是从80年代末、90年代初开 始的，大致经历了跟踪学习、自主开发、实际应用推广3个发展时期。1985年到1991年间， 国内的压电、超声波方面的学者王大春、周铁英等开始撰写文章介绍超声波电动机[5，6】， 1989年清华大学和上海大学分别研究开发出了压电蠕动型超声波致动器，哈尔滨船舶工程 8 学院研制了环形超声电机【7，8】，1993年浙江大学试,,J-f行波型旋转超声波电动机，1994年 南京航空航天大学的赵淳生教授成立超声电机研究小组，并于1995年研制成功输出力矩和 速度较稳定的环型行波型超声波电动机。1997年南航成立了超声电机研究中心，仅比美国 宾州大学的换能器和驱动器研究中心晚5年【9，10】。我国的超声电机事业在国家自然科学基 金的支持下，进行了应用基础研究和关键技术研究[1l，121，迄今得到长足的发展。 2我国超声电机从模仿进入独创的阶段 经过10年的努力，中国制造的行波型旋转超声波电动机的主要性能指标，除去效率以 及耐久性之外，已经非常接近日本的新生工业公司的产品样本值了．表格l显示了南京航空 航天大学、东南大学、浙江大学和新生工业的超声波电动机的性能比较。 表格I 开发者 名称 无负荷转数 最大力矩 额定转数 额定力矩 (rpm) (mN—m1(rpm) (mN-m1 南京航空航天大学 TRUM．30250 loo 180 50 南京航空航天大学 TRUM石O150 1200 loo 500 东南大学 UMT30 200 loo 150 60 东南大学 UMT60 140 800 80 500 浙江大学 UMT30 140 loo 120 60 浙江大学 UMT60 llO 900 75 500 新生工业 USR30 300 lOO 250 50 新生工业 USR60 150 lOoo loo 500 除了行波型之外，纵扭复合振予型、弯陆模态回转型、模态变换型、复合模态型、双转 子型、非接触型以