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洁净厂房综合施工技术.pdf 34页

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首 批 公 司 重 点 课 题 《洁 净 厂 房 施 工 综 合 技 术 》 编 制: 郑 玉 柱 中 国 建 筑 第 一 工 程 局 第 四 建 筑 公 司 2 0 0 0 年 1 1 月 2 8 日 《洁净厂房施工综合技术》 前 言 郑玉柱 洁净技术及玷污控制技术, 实际上常用玷污控制 (Contamination Control ) 一词。其全面的概念应是: 对加工或处理对象在加工处理过程中, 由于玷污物质 的存在,影响对象的成功率, 而对到达对象表面的玷污物质进行控制后, 能提高 对象的成功率, 此有效控制玷污物质 (亦包括加工或处理对象带有对人体有害的 玷污物质需进行处理及隔离)的技术称为洁净技术或玷污控制。 洁净技术与玷污物质的控制方法因加工处理的对象而异。如精密机械加工 要求控制工件表面的粒子尺寸及浓度, 一般都以控制空气中的粒子尺寸及其浓度 来解决; 医疗、卫生、制药等以控制空气中的粒子尺寸及其浓度和微生物数来解 决;而 IC 生产随着集成度的提高,线宽的减少,当前要求严格控制硅表面的粒 子尺寸及其浓度、有机物质、金属物质、吸附的某些分子以及硅片本身的氧化。 因此除了控制洁净室空气中的粒子尺寸及其浓度并有机物质外, 还须控制工艺介 质如高纯水、高纯气体、特种气体及化学品(液)内的粒子尺寸及其浓度、金属 物质、有机物质及某些气体不纯物质。 因此,洁净技术涉及的内容范围是很广的,可以是洁净室技术的研究、开 发;洁净室各系统(壁板系统、吊顶系统、地板系统、空气净化及空调系统以及 其它服务系统 (如洁净工作服、洁净室专用抹布等消耗品) 的研究、开发、设计、 应用设计、安装、 运行及管理等的介绍及经验总结; 洁净厂房施工技术仅为此领 域内容之一。 洁净厂房的设计与施工在科技高速发展的今天,已成为一门专业学科被大 家所重视并被广泛研究, 在洁净厂房内生产的相关产品即象征着它的高品质与其 高科技。此项施工技术适用于制药、医疗、核电站、微电子、化妆品、食品与饮 料、实验室、航空、生物工程、精密机械加工、印刷等有洁净等级要求的工程施 工。 洁净厂房设计及施工技术具有三个显著特点,即科技含量高、施工难度大、 新技术及新材料应用广泛。特别是对材料的性能、耐腐蚀性、 气密性以及施工节 点的处理等要求甚高。本文将主要围绕上述特点分系统进行阐述。 第 1 页 《洁净厂房施工综合技术》 第 1 部分 洁净施工技术综述 1. 洁净施工目的与原则 1.1 洁净施工目的 在洁净室的建造过程中,始终有粉尘产生,仅靠施工最终阶段的清理是无 法清理干净的,而这些无法被清除的赃物、 灰尘会付在洁净室的表面。 在洁净室 开始起用时, 付在室内表面的灰尘会在室内空间飞散, 由此而增大过滤器的初期 负荷,以至缩短过滤器的寿命。 所以在洁净室的施工过程中,需采取相应措施,最大程度地减轻洁净室的 初期负荷,尽早达到洁净室的性能要求是很重要的。 1.2 洁净施工基本原则 1.2.1 垃圾、

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