双足驱动双压电晶片直线超声波电机研究.pdfVIP

电机与电器 ·1653 · 双足驱动双压电晶片直线超声波电机 陈 强 金 龙 胡敏强 江苏省伺服控制技术工程中心 东南大学电气工程学院 江苏 南京 210096 【摘 要】 设计了一种直线超声波电机，采用双压电晶 片和双足驱动结构，该电机具有结构简单、 无 需 频 率 简 并 、 易 于 进 一 步 小 型 化 等 优 点 。 本 文 详 细 阐 述 其 结 构 、 振 形 特 点 和 运 行 机 理。建立了电机定子的振动响应有限元模型，给出输入阻抗的计算方法，得到定子输入 阻抗。 【关键词】 直线超声波电机 双压电晶片 双足驱动 有限元模型 Double-driving Feet Linear Ultrasonic Motor Using Bimorphs Chen Qiang Jin Long Hu Minqiang Jiangsu Province Engineering Centre of Servo Control Technique ，School of Electrical Engineering Southeast University ，Nanjing 210096 ，Jiangsu ，China Abstract ：A linear ultrasonic motor is designed in this paper ，which uses bimorphs and double-driving feet. The motor has the attribute of simple structure ，no frequence degenerate and easy to miniaturize. The construction ，vibration mode and operation principle are described. The vibratory response finite element model of the stator is established. The computation method of input impedance of the stator is presented ，and the input impedance of the stator is computed. Key words ：linear ultrasonic motor ；bimorphs ，double-driving feet ；finite element model 1 引 言 超声波电机利用压电 陶瓷逆压电效应，激 励定子产生超声振动，把 电能转化为机械能，通过定和 动子间的摩擦耦合方式驱动。与传统的电磁电机相 比 ，超声波电机具 有低速大转矩 、响应速度快、断 电 自锁、结构简单 、噪音小 、不受电磁场干扰等优点[1] 。作为控制系统的执行元件在工业控制系统、半 导体工业、精密仪器 、航 空航天 、医疗、机器人等高新技术领域具有广阔 的应用前景 [2-3] 。直线超声波 电机是超声波电机的一个重要分支 ，除了上述优点外，它还具有不需要丝杆机 构进行运动转换直接输 出牵引力，定位和速度控制精度高，结构简单 ，设计灵活等优点，作为重要的控制系统执行元件在在 [4-6] 微机电系统中有着广泛 的应用 。 文 中电机采用双压电 晶片和双足驱动结构[7] 。该 电机结构简单体积小 ，易于装配于各种装置 。因为 无需频率 简并 ，在设计上 能 比较灵活 ，