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维普资讯
第33卷 第 l3期 计 算 机 工 程 2007年7月
Vo1.33 No.13 ComputerEngineering July2007
· 博士论文 · 文章编号ll0oo—3428(2007)l3._o0o4_一03 文献标识码lA 中田分类号 TP278
基于多Agent技术的半导体生产线动态调度研究
王令群 .陆小芳 .郑应平 1,2
(1.同济大学控制科学与工程系,上海 200092;2.机械制造系统工程国家重点实验室,西安 710049)
摘 要:以提高芯片生产厂家的市场竞争力、芯片合格率和按期交货率为主要调度目标,该文提出了基于多agent技术的半导体生产线动
态调度算法,各加工中心 agent相互合作,调度时协同考虑上下游加工中心的信息,共同满足优化调度的目的,仿真实验证明了算法的有
效性。
关键词:半导体生产线;调度;多agent系统
Research0nDynamicSchedule0fSem iconductorFabricati0nLine
Based0nM ulti-agentTechnology
WANGLingqun ,LU Xiaofang ,ZHENGYingping’2
(1.DepartmentofControlScienceandEngineering,TongjiUniversity,Shnaghai200092;
2.StateKeyLaboratoryforManufacturingSystemsEngineering,Xi’an710049)
[Abstract]Toraisethechipyieldnadon—time—deliveryrateSOastopromotehtecompetitiveabilityofhtechipproducers,amulti—agenttechnology
baseddynamicschedulealgorihtm ofsemiconductorfabricationlineispmpos~ .Tooptimizehteschedulesystem,htemachiningcenteragents
cooperatewiht each ohter,boht upna ddownstream informationistaken intoconsiderationwhen scheduling.Thevalidity ofhtisalgorithm is
demonstratedbysimulation.
[Keywords]semiconductorfabricationline;schedule;multi—agentsystem
半导体生产系统是多重入复杂制造系统的典型代表,是 定期维护。该模型加工工步和设备都非常少,但可以反映可
不同于传统的Job—shop和 Flow—shop生产类型的 “第三类生 重入生产线的主要特征。
产系统”,具有可重入流、单件和批处理设备共存、随机性和
动态性高等特性…。随着专用集成电路需求的猛增和市场竞
争的激烈,使得按需、经济、均衡、准时、安全地进行生产
成为迫切需求,缩短制造周期、提高供货准时性、减少制造
成本、提高产品的合格率成为亟待解决的问题。而多 agent
系统具有高度 自主性、动态性、agent之间可相互合作协调、
系统可扩充及集体智能等特性 J,为半导体生产线调度提供
了一种新的解决方案。
本文提出一种基于多 agent技术的半导体生产线动态调 圈1 1机2工序可重入生产绞
度 算 法 (multi—agentbased dynamic schedule algorithm,
将上述 1机 2工序可重入生产线作为模块扩充成任意规
MADS),设备调度时考虑了上游设备即将到来的工件信息,
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