洁净室设计与节能研究.pdf

洁净室设计与节能 《洁净室设计与施工》主编、《洁净室设计规范GB50073．2002》起草人陈霖新 摘要：本文介绍洁净室设计的特点、洁净室的节能潜力、措施和实例，供读者思考、参考 关键词：洁净室 设计特点 节能 实例 1、洁净室设计的特点 1．1洁净室类型 随着现代产品生产、科学实验对加工／实验过程的微细化、精密化和高纯度的要求曰益 严格，科学实验和产品生产的实践，对洁净生产环境的要求日益严格、确切和细化。国际标 准化组织在1999年发布的IS014644洁净室系列标准中对空气洁净度等级、检测、设计施 工和运行等都进行了明确、具体的规定、要求或建议。对洁净室作了准确的定义：洁净室(区) 是空气悬浮粒子浓度受控的房间(限定空间)。洁净室(区)的建设和使用方式要尽可能减 少室内引入、产生和滞留粒子，室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制。在 IS014698中对生物污染控制作了相关规定和建议。 洁净室因其用途、气流流型等的不同，可分为各种不同冠名的洁净室。洁净室按用途的 不同可分为工业洁净室、生物洁净室。工业洁净室是以控制微粒为主要对象的洁净室，通常 适用于微电子产品生产、精密机械加工、电子元器件和某些电子产品组装、精细化工、精密 仪器仪表生产、航天航空的一些产品生产等。生物洁净室是以控制微粒和微生物为主要对象 的洁净室，这类洁净室又可分为一般生物洁净室和生物安全学洁净室；一般生物洁净室主要 用于大部份药品和生物制品生产、部份食品和化妆品生产；生物安全学洁净室主要用于有生 物学安全要求的实验室或部份药品和生物制品的生产。 洁净室按气流流型分类时可分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。单向 流(unidirectionalairflow)洁净室，气流沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的洁 airflow)洁净室，气流不符合单向流方式的洁净室。混合流(mixedairflow)洁净室，气流 以单向流和非单向流组合的洁净室。 1-2洁净室设计的特点 (1)洁净室空气洁净度等级的确定是依据产品品种、生产工艺或使用要求确定。例如微电 IX 子行业随着集成电路的集成度不断提高，洁净室控制粒径及洁净度等级已从0．5Ill或0．3 u IX m的IS05级(100级)要求严格到0．05m的IS01级；薄膜晶体管液晶显示器件 um／0．3 (TFr—LCD)生产用洁净室的空气洁净度等级为IS03级～4级／5级，控制粒径0．1 u lam／0．3u ml微型硬盘(HDD)生产用洁净室的空气洁净度等级IS04级，控制粒径O．1 IX ln．药品生产用洁净室的控制粒径及洁净度等级通常为O．5m，IS07级、8级(10000级、 沉降菌——l／3／10／15等。具体洁净室工程设计时应根据业主要求和产品品种、采用的生产工 艺和生产设备的不同，其洁净室的控制粒径及洁净度等级都有所不同。 (2)洁净室应尽可能做到不引入或少引入微粒(微生物)，不产生或少产生微粒(微生 物)，不滞留或少滞留微粒(微生物)。洁净室的设计、建造要实现上述三要素或三项基本要 求。洁净室的各项功能设施都应采取相应的技术措施，比如合理进行平面布置和组织好人流、 物流以及设置必要的人净、物净措施；在净化空调系统应合理组织气流，设置空气预过滤、 中间过滤、末端过滤等多种类型的空气过滤器，并且要求整个系统及其设备的严密性好等； 在洁净室建筑及其装修，应选择气密性满足要求的构造、墙和顶棚材料及其节点构造、门窗 等；设置必要的洁净室清洁、清洗或消毒、灭菌技术措施、装置；室内的管线或装置尽量暗 敷或采用不易沉积、易于清扫的构造等。 (3)洁净室的温度、湿度和压力应根据产品生产工艺或使用要求确定，当具体洁净室 设计时，若业主或生产工艺无特殊要求时可按标准、规范的规定值进行设计。这里需要说明 的是洁净室同一般空调房间的重要不同是洁净室必须相对于室外环