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微/奈米光機電高科技學程基礎課程名稱：微製造工程導論超精密位置感測與控制技術簡介華梵大學機電工程學系超精密定義「精密」、「超精密」的定義根據日本超精密定位專門委員會四年一度的問卷調查，現階段「精密」、「超精密」定位精度的分界線，似乎是在0.1(0.1微米)附近。另外，根據該委員會針對韓國、美國、歐洲各國的會議報告彙整後判斷，目前在超精密定位技術上，日本是居於領先地位。華梵大學機電工程學系Source：精密工學會誌，2001.2. Vol.67超精密定位技術的應用半導體製程露光裝置微動台(Stepper)、LIGA、微致動器及微感測器製作超精密加工機進刀機構、超鏡面研磨加工，超應材料研磨、球面加工、非球面加工、凸面加工、半導體Wafer加工、光纖波導管OA機器(Office automation)硬碟機、DVD、雷射印表機(多面反射鏡、 感光滾筒)掃描式探針式顯微鏡(SPM)掃描式穿透電流顯微鏡(STM) : 導體表面原子構造觀察、超高精度尺寸量測原子力間顯微鏡(AFM) : 非導體或導體表面精度量測、表面加工Source：國科會精密儀器發展中心，超精密工程技術研習 劉永田 博士2002.3.14華梵大學機電工程學系精密定位的構成要素致動器(Actuator)AC、DC伺服馬達，線性馬達(Linear Motor)，壓電致動器(Piezoelectric actuator)，油空壓