纳米级精度的竖直液体静压滑台设计-光学精密工程.pdfVIP

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2018-01-25 发布于天津
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第卷第期光学精密工程年月文章编号纳米级精度的竖直液体静压滑台设计董婉娇李蓓智杨建国东华大学机械工程学院上海密歇根大学制造中心安娜堡摘要为了满足航天关键件的加工精度要求需要设计并制造满足设计要求的纳米级精度的竖直液体静压滑台本文针对滑台结构关键部件及公差设计方法展开了研究首先根据高精度竖直滑台的设计要求采用不等流量的滑块结构及控制方法整体设计滑台结构设计时将所有液压油管路均设置在滑块中以减小油压损耗且使得滑台结构紧凑接着为使圆孔加工时圆度误差不受导轨刚度的影响采用等导轨刚度的设计方法同时给出了该方

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