精密特种加工第讲精密切削加工机床.ppt

这种超精密机床常采用Z、X运动分离的结构，即主轴箱带动工件作纵向运动（Z向），横向运动（X向）由刀架滑板完成。Z向和X向运动的导轨都放在机床的床身上，形成T形布局，使两条导轨基本在同一高度上。T形布局结构，有利于提高导轨的制造精度和运动精度，并且检测Z向、X向运动位置的双频激光测量系统可以装在固 定不动的床身上，仅将测量位置用的反射镜装在Z、X方向的移动部件上。这样不仅使测量系统的安装要简单很多，而且测量精度可大大提高。这种布局使机床整体刚度较高，控制也相对容易，如Pneiimo公司生产的大部分超精密车床都采用这一布局。现在中小型超精密机 床常采用这种总体布局 * (2)十字形滑座结构 机床的主轴箱位置固定，刀架装在十字形溜板上。Z方向和X方向的导轨都集中在工作台（或溜板）上，形成十字形滑座。图3-3所示为Moore公司坐标镗床和三坐标测量机所用的十字形滑座构成的X、Z双向工作台。 这种结构布局中，十字形滑座的上下导轨，不仅要有很高的直线运动精度，而且要有非常严格的相互垂直度，对制造精度要求很高。另外采用双频激光干涉仪作Z、X方向运动的随机位置检测时，很不方便。但这种布局的主轴箱位置固定不动，主轴用带传动很方便，电动机可以有单独地基，有利于减少电动 机振动对主轴的影响。 * * 此外，一些超精密加工机床是针对特殊零件而设计的，如大型高精度天文望远镜采用应力变形盘加工，一些非球面镜