新型气体传感器及阵列幻灯片.ppt

假设和简化： 平面应变假设 基体深度的缩短 周期性结构的简化 仿真过程： 结果与讨论： 沿着压电基底表面传播时的SAW 结论：声波能量集中在约一个波长深的表面层内，对表面扰动的灵敏度高。 不同膜厚PIB吸附不同浓度甲烷后SAW谐振频率的大小： CH4 (ppm) PIB膜厚 （um） 0 1000 2000 3000 4000 5000 0.3 431.661652 431.661622 431.661593 431.661564 431.661535 431.661506 0.4 431.149955 431.149914 431.149874 431.149834 431.149794 431.149753 0.5 430.728601 430.728550 430.728499 430.728448 430.728397 430.728346 0.6 430.401571 430.401510 430.401449 430.401388 430.401327 430.401266 0.7 430.138578 430.138508 430.138438 430.138368 430.138297 430.138227 0.8 429.954354 429.954276 429.954197 429.954119 429.954040 429.95