真空压力量测与测漏补充教材-Mipaper.PDFVIP

真空壓力量測與測漏 （補充教材） 張銀祐 真空壓力量測 壓力計用來量測壓力的變化，以量測的方式分類 可分為 直接壓力計與間接壓力計 。 直接壓力計乃是直接顯示氣體分子撞擊的表現， 俗稱絕對壓力計。 間接壓力計 乃是量測氣體的物理特質，而該物理 的特質與氣體分子的密度有關連，例如 導熱係數 等。 真空壓力計與壓力量測範圍 Thermal conductivity gauges (Pirani Gauge; Thermocouple Gauge) 藉由量測一發熱體與一接受發熱體之間導熱程度 來判斷氣體的壓力。 當 Kn值在 0.01Kn10之間時，熱傳導的量與 壓力成正比的關係。 在低壓力時，熱的喪失可經由三個途徑，分別是 周遭氣體的導熱 、輻射熱 、以及支柱發熱體本身 的主幹 。 為了使量測壓力的精確度提高。後兩者的熱量損 失，盡量避免。 Pirani Gauge 熱電偶真空計 Thermocouple Gauge 固定電流流向燈絲，燈絲產生熱，熱由另一端的熱電偶測其溫度。 藉溫度之高低產生電壓，最後由電壓大小來反推導熱程度 。 同樣的不同氣體的熱傳導值不一致，所以其讀數也必須校正，通常 都是以空氣的熱傳導值為基準線 Ionization Gauges 利用偵測離子的數目來推測氣體的分子密度，間接求出壓力值 。 有Hot Cathode及Cold Cathode 兩種形式 Hot Cathode基本原理 ；Bayard Alpert Gauge (BAG) 燈絲製造熱電子，藉由熱電子游離周圍氣體分子形成離子， 然後離子被吸引接收，形成電流，電流大小意味離子數多 寡，壓力大小與離子數多寡有對等之關係。 Cold Cathode基本原理: Penning Gauge 產生離子的方式乃是利用高壓解離 Important point All such gauges must be calibrated! Ion Gauge Bayard-Alpert式Ion Gauge Ionisation Gauges - BAG Cold Cathode Gauge 例如： Penning Gauge Ionisation Gauges – Cold Cathode Advantages Wide range Penning: 10-3 – 10-9 mbar IMG 10-3 – 10-11 mbar Robust Disadvantages Need calibration for each gas species Striking at low pressures （低真空不可開啟） Non linear Susceptible to sputter coatings and contamination Capacitance Manometer電容式真空計 -- BARATRON gauges Pr~10-7 Torr 壓力差致使電極與薄片間 的間距改變； 由電極與薄片間的電容差 改變獲得真空室的真空壓 力；