传感器原理及应用介绍与讲解.ppt

第二章 应变式传感器;本章重点：; 电阻应变片式传感器的核心元件是电阻应变片，是将被测试件（弹性元件）上的应变转换为电阻变化的一种传感器, 由弹性元件和粘贴在其上的电阻应变片构成。 当被测物理量作用在弹性元件上时, 弹性元件的变形引起应变片的阻值变化, 通过测量电路将其转变成电压或电流的输出, 输出电量的变化反映了被测物理量的变化。 ; 应变 物体在外部压力或拉力作用下发生形变的现象。 弹性应变 当外力去除后，物体能够完全恢复其尺寸和形状的应变。 弹性元件 具有弹性应变特性的物体。; 弹性体 应变片 电桥电路 力、加速度、荷重等 应变 电阻变化 电压、电流 ; 电阻应变片：利用金属丝的电阻应变效应或半导体的压阻效应制成的一种传感元件。;（一）工作原理——应变效应 导体或半导体材料在外力的作用下产生机械变形时，其电阻值相应发生变化的现象称为应变效应。;电阻的相对变化量为：;对于半径为r的圆截面电阻; 金属丝的应变效应;即半导体的dρ/ρ与其在轴向所受应力的关系为; 实验证明, πE 比（1+2μ）大上百倍, 所以（1+2μ）可以忽略, 因而半导体应变片的灵敏系数为 。可见，半导体的应变效应主要取决于压阻效应。;（二）结构与类型; 敏感栅 感受应变，并将应变转换为电阻的变化。;2. 电阻应变片的类型;与丝式应变片相比较，箔式应变片有如下优点： ; 薄膜式应变片 是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝缘基片上形成0.1μm以下的金属薄膜敏感栅, 然后再加上保护层。它的优点是应变灵敏度系数大, 允许电流密度大, 工作范围广。;缺点 温度稳定性较差，非线性较大。; ;图 2-4（b） 半导体应变片结构; 应根据测量精度、允许工作电流、散热、体积、是否批量等要求查手册选择。;（三）电阻应变片的特性; 敏感栅是由n条直线段和（n－1）个半径为r的半圆组成, 若该应变片承受轴向应力而产生轴向拉应变 时, 则各直线段的电阻将增加, 但在半圆弧段则受到从 到 之间变化的应变，即从轴向拉应变过渡到横向压应变，会使应变片电阻减小。;图 2-6 应变片的轴向受力与横向效应;应变片置于二维应力场，即有 ，又有 。;①加长敏感栅栅长l，缩短栅宽b，加宽圆弧处栅线，采用短接式或直角式横栅。 ②采用箔式和薄膜式应变片，其横向效应可忽略。 ③当实际使用应变片的条件与其灵敏系数K的标定条件不同时, 如μ0≠0.285或主应力与应变计轴向不一致, 由于横向效应的影响, 实际K值要改变, 如仍按标称灵敏系数来进行计算, 可能造成较大误差，其相对误差为： ;3. 机械滞后（Zj）;4. 零点漂移（P0）与蠕变（ θ ）;5. 应变极限;6. 动态特性; 应变片对正弦应变波的响应是在其栅长 l 范围内所感受应变量的平均值 ，低于真实应变波 ，从而产生误差。;t 瞬时应变片的平均应变(实际响应波) 值为：;由此产生的相对误差为：;另，考虑到 ，可将 展开为级数，并略去高阶小量后可得：;1.温度误差 ;原因之二：电阻丝材料与试件材料的线膨胀系数不同带来的影响。;所以由温度变化形成的电阻相对变化为;2. 温度补偿 ;所以两段敏感栅的电阻大小选择;电桥补偿是最常用且效果较好的电路补偿。 补偿原理：桥路相邻两臂增加相同电阻，对电桥输出无影响。 ;; 测量应变时，工作应变片R1粘贴在被测试件表面上，补偿应变片R2粘贴在与被测试件材料完全相同的补偿块上，且仅工作应变片承受应变。 ;温度补偿的实现：当温度升高或降低Δt 时，两个应变片因温度而引起的电阻变化量ΔRt 相等，电桥仍处于平衡状态， 即 ; 注意满足以下完全补偿条件：; 应变片是用粘结剂粘贴到被测件上的。粘结剂形成的胶层必须准确迅速地将被测件应变传递到敏感栅上。选择粘结剂时必须考虑应变片材料和被测件材料性能，不仅要求粘接力强，粘结后机械性能可靠，而且粘合层要有足够大的剪切弹性模量，良好的电绝缘性，蠕变和滞后小，耐湿，耐油，耐老化，动态应力测量时耐疲劳等。还要考虑到应变片的工作条件，如温度、相对湿度、稳定性要求以及贴