低驱动电压RF MEMS开关设计过程中的有限元分析.pdfVIP

第 卷 第 期 新乡学院学报 年 月 32 9 2015 9 Vol. 32 No. 9 Journal of Xinxiang University Sep. 2015 低驱动电压RF MEMS 开关设计过程中的有限元分析 伍文昌，胡宜芬 （信阳职业技术学院汽车学院，河南信阳464000 ） 摘 要： 介绍了 RF MEMS 开关的工作原理和基本结构， 给出采用Ansys 有限元分析方法仿真RF MEMS 开关的流程及 方案。 对一种新型的低驱动电压 RF MEMS 开关，使用 Ansys 有限元软件进行分析：静态分析求解开关的下拉电压，动态 分析得到开关时间，并给出该开关的应用实例。 关键词： 开关； 有限元；低驱动电压；开关时间 RF MEMS Ansys 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） TN402 A 2095-7726 2015 09-0053-03 ［ ］ 目前，射频微机电系统（ ）的研究方向大 传输正常（此时为 态，即开关的开态） 2 。 RF MEMS up 致分为两类： 开关和 谐振器。 MEMS MEMS RF MEMS 开关系统的研究主要涉及MEMS 开关、 可调滤波器、 移相器、可调匹配网络、微执行器和可重构天线。 相比 传统的半导体二极管和场效应管构成的开关及可调器 件， 开关系统具有插损低、功耗低、线性度高 RF MEMS ［ ］ 1 且易于集成的优点 ，但是在驱动电压和开关速度上 依然有差距。文中介绍了使用Ansys 分析RF MEMS 器 件的基本方法， 并对笔者所在团队所设计的一种新型 低驱动电压RF MEMS 开关在驱动电压和开关时间方 面进行有限元分析。 （a ） 俯视图 1 低驱动电压RF MEMS 开关实例 1.1 RF MEMS 开关的工作原理 本文研究的 RF MEMS 开关， 全称为 RF MEMS （b ） 侧视图 并联电容耦合型开关，主要由CPW 共面波导传输线、 图1 RF MEMS 并联电容耦合式开关原理示意图 绝缘介质层、低耗基底以及可动金属极板MEMS 可动 MEMS 开关梁在施加偏置电压时所受到的静电力 开关梁构成，如图 所示。 由图 可见， 开 1 1 RF MEMS 1 ε w WV
 为F = 。 其中， ε 为空气的介电常数，W 为