催化实验方法课件 电子显微镜技术.pptVIP

* 第五章 电子显微技术 1. 概述 A. 背散射电子及其信息 入射电子在样品表面受到散射向着反方向运动电子 原子序数Z越大,背散射电子强度越大 ?样品表面组成. 背散射电子?样品表面形貌信息 电子信息: II=IB+IA+IT+IS 1 B.吸收电子信息 若样品厚度相当大时,透射电子电流 IT=0 设二次电子电流为常数 IS=C 吸收电流 IA=(II-C) –IB 吸收电子电流与背散射电子电流是互补关系. 但吸收电流大小还受:二次电子,背散射电子的 二次吸收和电荷积累的影响 C. 二次电子信息 ★俄歇电子?Auger电子能谱 ★二次电子?反映微观形貌 D. 透射电子信息 形貌,组成,晶型?TEM 电子波长 根据德布罗依关系式: 设初速为0的电子,受到电位差为V的电埸加速 2 根据能量守恒原理,电子获得动能为: 若加速电压较高(几百伏以上) 应作相对论修正: 能分开二点的能力 对光学显微镜: 可见光波长: 7600～3900 若 20KV 波长: 0.086 分辨率(力) 3 衬度:电子象的形成取决于入射电子束 与物质(试样)的相互作,电子强度发生 了变化.在荧光屏上的强度也是不均匀 的,这种强度不均匀分布现象称为衬度. 形成电子象被称为衬度象. 电子光学折射定律 4 根据电磁学原理,电子在静电场中受到洛伦兹力为: 若电子不沿着电场方向运动,电子发生折射,在界 面处电子运动速度将由 变为 因在平行于界面方向没有电场作用则: 散射截面 5 入射电子被试样中原子散射后,偏离 入射方向的角度称为散射角.散射角大于 或等于某一定角 的几率称为该试样物 质对电子的“散射截面” 2. 透射电镜(TEM)及其应用 (Transmission Electron microscopy) 透射电镜中,电子的加速电压很高.采 用的试样很薄.而且所接受的是透过的电 子信号主要是电子的散射,衍射,干涉等作 用.它的成像操作有:亮场像,暗场像和选区 电子衍射. No.1 散射(质量-厚度)衬度图像分析 图象上相邻点的反由成象电子束的强度差决定. 电子反差G定义: 定义透明系数: 则 透明系数 主要决定於原子量(Z) ?原子序数 ?物质的原子序数越大 ?散射电子能力越强 ?参与成象电子越光 ?荧光屏上相应位置越暗 原子序数越小 ?越亮 相邻部位原子序数相差越大 ?图象反差越大 当相邻两点的物质种类和结构完全相同图 象衬度反映了试样上各部位的厚度差异 No.2 电子衍射 波长为 的电子束照射到晶体就会 产生衍射现象.它可分为高能电子衍射和 低能电子衍射.透射电属高能电子衍射 它也应满足布拉格定律: 物质对电子的散射作用比X射线强. 因此电子衍射比X射线衍射强得多.摄取 电子衍射花样短.就可研究小晶粒,或衍 射相当弱的样品.在进行选区衍射操时, 就可获得样品组成,形貌和晶体结构的信 息. No.3 相位差衬度图象分析 入射电子波穿过极薄(30 ,40 )的 试样后,形成的散射波和直接透射波之 间产生相位差.经物镜合聚作用,在象平 面上会发生干涉.由于穿过试样各点后 电子波的相位差情况不同,在象平面上 电子波的相位差情况不同.形成了相位 差衬度图象.这种干涉图与原子的点阵 结构有关.得到原子点阵结构象和原子 象. *