单晶操作规范培训.ppt

11、石墨件损坏 事故介绍与分析----主要指在拆装炉的过程中石墨件碰到异物使其损坏，不能使用。 应对措施----在拆装炉时首先要确保高温手套处于安全的状态下；在拿石墨件时要轻拿轻放，能两个人抬的千万不要一个做；而且要看清脚下有无防碍工作的东西，若有及时清理掉。 二、非人为事故 四瓣埚裂 单晶棒掉落 漏硅 停电 停水 1、三瓣埚裂 事故介绍与分析----在炉子工作的过程中，开埚转，液面严重抖动。在排除温度振荡和机械振荡、石英坩埚挂边碰导流筒等因素下可以确定是三瓣坩锅破裂。 应对措施----一般关闭埚升，手动拉，做拉多晶处理。 2、单晶棒掉落 事故介绍与分析----单晶棒掉落一般在等径中掉落或是在停炉后掉落。一般是由于机械振动、细颈/原籽晶断裂、液面结晶等原因引起。 应对措施----尽可能排除机械振动因素；安装籽晶时要检察好；引晶时必须出光圈、在快到结尾时必须注意炉内液面情况；尾部吊料时，一定要经常观察炉内变化，液面结晶时要加温手动拉，若结晶很快，直接提断晶体，停炉！ 3、漏硅 事故介绍与分析----在炉子工作过程中硅液漏入炉体，导致炉体打火、石墨件损坏等情况。一般由于石英坩锅破裂引起。 应对措施----在装料前检查好石英坩锅，不能用的绝对不用；化料埚位的变化一定要按工艺要求来做；装料时不能用硬物砸破石英坩锅或使其有内伤。 4、停电 事故介绍与分析----在生产的过程中突然