第十二讲 霍尔 传感器.ppt

第九章 其他类型传感器及其应用 第十一章 自动检测技术的综合应用 (5)精度要求； (6)测量所需要的时间。 轻等优点。 近年来，由于电子技术的飞速发展，随着与之配套的二次仪表以及低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现，使压电传感器的使用更为方便。因此，在工程力学、生物医学、石油勘探、声波测井、电声学等许多技术领域中获得了广泛的应用。 一、压电效应 1. 定义：某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态。 电能 机械能 正压电效应 逆压电效应 某些晶体电介质，施加一定方向的外力使之变形，其表面产生电荷；外力去除后，介质表面又回到不带电状态 ——正压电效应 对其表面施以电场，则介质将产生机械变形 ——逆压电效应 压电效应具有极性：外加作用力从压力变为拉力，介质表面上产生的电荷会改变符号。 天然结构石英晶体的理想外形是一个正六面体，在晶体学中它可用三根互相垂直的轴来表示： ① 光轴：纵向轴Z－Z称为； ② 电轴：经过正六面体棱线，并垂直于光轴的 X－X轴； ③ 机械轴：与X－X轴和Z－Z轴同时垂直的Y－Y轴（垂直于正六面体的棱面）。 石英晶体的压电效应 通常把沿电轴X－X方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”，而把沿机械轴Y－Y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴Z－Z方向受力则不产生压电效应。 Z X Y (a) (b) Z Y X 石英晶体 (a)理想石英晶体的外形 (b)坐标系 石英晶体的压电效应 机械轴 光轴 电轴 受力方向不同，引起压电晶体切片的不同变形，可在不同表面上测得电荷 实用压电效应有三种类型(见上图) 虚线表示压电晶体切片的原始形状 实线表示压电晶体切片的受力变形后的形状 图(a)是纵向压电效应，压电片在x方向上受正向应力：变形后在垂直于x方向的平面上产生电荷 图(b)是横向压电效应，压电片在y方向上受正向应力：它还在垂直于x方向的平面上产生电荷 图(c)是切向压电效应，压电片在y方向上受切向应力：在垂直于x方向的平面上产生电荷 FX FX + + + + － － － － － － － － + + + + (a) (b) X X 在X 轴方向施加压力时，左旋石英晶体的X轴正向带正电；如果作用力FX改为拉力，则在垂直于X轴的平面上仍出现等量电荷，但极性相反，见图(a)、(b)。 (c) (d) + + + + + + + + － － － － － － － － FY FY X X 如果在同一晶片上作用力是沿着机械轴的方向，其电荷仍在与X轴垂直平面上出现，其极性见图（c）、（d），此时电荷的大小为 结论： ① 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间呈线性关系； ② 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ③ 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的。 二、压电材料 压电晶体与压电陶瓷的比较： ① 相同点：都是具有压电效应的压电材料。 ② 不同点：石英的优点是它的介电和压电 材料：压电晶体，如石英等； 压电陶瓷，如钛酸钡、锆钛酸铅等； 压电半导体，如硫化锌、碲化镉等。 常数的温度稳定性好，适合做工作温度范围很宽的传感器。 极化后的压电陶瓷；当受外力变形后，由于电极矩的重新定位而产生电荷，压电陶瓷的压电系数是石英的几十倍甚至几百倍，但稳定性不如石英好，居里点也低。 三、测量电路 1. 电压元件的等效电路 q Ca Ua Ua＝q/ Ca q ＝UaCa Ca （a）电压等效电路 （b）电荷等效电路 压电传感器等效原理 压电传感器可等效为电压源Ua和一个电容器Ca的串联电路，如图(a)；也可等效为一个电荷源q和一个电容器Ca的并联电路，如图(b)。 电压源 电荷源 四、应用 压电式力传感器 压电片受力变形产生电荷，由引线输出 输出的电荷大小反映了作用力数值 * * 第六章　光电式传感器 光电传感器：各种光电检测系统中实现光电转换的关键元件，它是把光信号（红外、可见及紫外光辐射）转变成为电信号的器件。 将光量转换为电量的传感器 光电器件的物理基础是光电效应 6.1 光电效应即光电元器件 6.1.1 光电效应及分类 光电效应：物体吸收了光能后转换为该物体中某些电子的能量，从而产生的电效应。光电传感器的工作原理基于光电效应。 光电效应分为外光电效应、内光电效应和光生伏特效应三大类。 1. 外光电效应：在光线作用下，物体内的电子逸出物体表面向外发射的现象(向外发射的电子叫做光电子。基