奈米技术实习第二组第三次报告南台科技大学机械工程系微奈米技术.DOCVIP

奈米技術實習第二組第三次報告 南台科技大學 機械工程系 微奈米技術組 四奈米三乙 組長 許中瑋 學組員 蔡秉翰 學 謝文龍 學徐祥傑 學李佳和 學實習題目： PZT壓電致動與雷射干涉實習 壹、緣由 了解壓電致動器的精密定位還有量測的能力，設定AD/DA卡的輸出電壓(1V，循環頻率0.5Hz，觀察PZT壓電致動與雷射干涉光紋變化，如果要移動一個干涉光紋波長，AD/DA卡的輸出電壓變化量應設定多少，利用電壓材料的收縮和伸張來證明電壓效應。 貳、原理 壓電材料，介電性材料為一種絕緣體，其並沒有自由電子可以導電，但卻可以儲存電能，當受到外加力量作用時，會造成材料本身的電極化，並在表面產生感應電荷；相反的，施加電壓於壓電材料時，導致其電偶極會沿著電廠方向排列，造成電壓材料的收縮或伸張，稱之為電壓效應，可分為正壓電效應及逆壓電效應。 壓電致動器其動作原理是是利用逆壓電效應，及輸入電壓產生位移量，沒有傳統機械的摩擦力與背隙的問題，所以廣泛應用在高精密度定位與量測上，其優點為低消耗功率、發熱少、不產生電磁干擾、響應速度快、能量轉換效率高、體積小、重量輕、位移解析度可達微奈米級。因此，對於以壓電致動器為奈米移動之高性能、高效率的驅動與定位控制，其中重要的關鍵，莫過於壓電驅動放大器的設計。由於壓電材料的特性，其驅動過程，具有非線性之磁滯與潛變現象，若欲達高性能精密位移、定位應用，則必須將此非線性現象加以補償控制，而最具效果的設計方式，即在於壓電驅動放大器的設計，必須具有優良驅動控制性能，如此便可以大幅降低高性能位移、定位伺服控制器的設計複雜性。 壓電致動器優缺點： 以鉛、鋯、鈦材料為主材之壓電陶瓷材 參、實驗方法 將程式歸零，開始調整輸入要移動一個干涉光紋波長的電壓，以我自身為例，一開始調電壓至 0.9V但是超過一個干涉紋波長的範圍，重新調整，調整輸入電壓到0.8V，觀察干涉光紋波長在限定範圍內，完成。 肆、結果與討論 實驗後經過去收集資料才對pzt有進一步的了解，找尋資料後知道，輸入電壓是可以使其產生位移的原因，因為材料本身是絕緣體，但卻可以存電能，造成材料電極化並在表面產生電荷，材料收縮因而產生位移。每個人所輸入的電壓都不相同，應該跟肉眼的誤差還有人在走動有關，再觀察時，同學在旁邊走動因為一直有震動的關係干涉光紋波長總是抓不到剛好的位置，所以難免大家所輸入的數值會有所不同，至於壓電致動器，壓電致動器為奈米移動之高性能、高效率的驅動與定位控制，優點為低消耗功率、發熱少、不產生電磁干擾、響應速度快、能量轉換效率高、體積小、重量輕、位移解析度可達微奈米級，實驗後才知道有如此精密的定位工具，讓我對pzt了解的更多。 PZT實驗機台 雷射干涉光紋 伍、參考資料 1.國立台灣科技大學 機械工程系 碩士論文 M9503235 2.國立東華大學電機工程學系 計畫編號： NSC-95-2221-E-259-041 3. 壓電管控制實驗設備操作手冊 4. 國 立 中 央 大 學 機 械 工 程 研 究 所 碩 士 論 文 雷 射干涉儀於共焦顯微系統之軸向定位控制 頁 1