双波长临界角法作共焦显微镜之研究.pdfVIP

雙波長臨界角法作共焦顯微鏡之研究 1 2 1 廖淑真 王信福 邱銘宏 1 2 虎尾科技大學光電與材料研究所 清雲科技大學電子系 摘要 於結合共焦顯微鏡和Low-Coherence 本文提出一個以臨界角法結合共焦顯 Interferrometer(LCI)【4】經常被使 微鏡的基本原理，組成一個具有高解 用在反射表面的三維影像圖及透明物 析度及長深度量測的光學量測系統， 體的剖面圖，具有三度空間檢測且深 增進原有共焦顯微鏡性能，可應用於 入內層立體透視，此外以波長掃描外 如光學表面、生物醫學、微奈米…等 差式干涉儀來取代LCI成為波長掃描 三度空間影像方面的量測。預計縱向