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製造流程 去毛頭 除膠渣 PTH 一次銅 去巴裡(deburr) 鑽完孔后,若是鑽孔條件不當,孔邊緣有1.未切斷銅絲2.未切斷玻織的殘留,稱為burr,因其粗糙,若不將去除,可能造成通孔不良及孔小,因此鑽孔后會有de-burr製程.也有de-burr是放在Desmear后才作業,一般De-burr是用機器刷磨,且會加入超音波及高壓沖洗的應用,可參考表4.1 b.Etch cleaner:(SPS與H2SO4/H2O2兩種) 基本功能與酸性系列相似(SPS:10g/l) c.Catalpretreatmen:同Activator但少Complex d.Activator:Amine+Pd(Amine) complex 1.基本上此系列的Pd,是由Amine類形成的Complex 2.其特點如下: (1)Pd(Amine)+2呈正電荷,可吸附Conditioner上而甚少吸附在銅上,少有P.I.問題. (2)沒有Sn的Colloid,其粒子較小,結晶較密且少有Sn(OH)2,Sn(OH)4析出問題. 也沒有Sn+2,Fe+2 ,Sn+4 ,Cu+ 作用. (3)無CL-在外圍,由於CL-會與Polyimide材料產生作用,故無CL-會有較廣的適用性 (4)由於Pd(Amine)+2 asPd+2 Amine為一不