[医学]第四章 电容式传感器.pptVIP

* 板述一般计算方法 * 非线性改善：1、寄生电容，2、电源 对于大多数电容式传感器，除了在高温、高湿条件下工作，它的损耗通常可以忽略，故可视为纯电容。在低频工作时，它的电感效应也可以忽略。但是在严格条件下，电容器的损耗和电感效应是不可忽略的。 * 由于电路的感抗抵消了一部分容抗，电容传感器的有效电容Ce将有所增加。 * 受结构和尺寸影响，电容式传感器的电容通常在上-10pF范围内变化，极易受寄生与分布电容的影响。 * * 由于内屏蔽线上有随传感器输出信号变化而变化的电压，因此称为“驱动电缆”。 内外层屏蔽之间的电容是驱动放大器的负载，它与传感器的电容无关。 图中接地点选在R1和R2之间，使电缆芯线与其屏蔽层间的寄生分布电容分别与R1、R2并联。如果R1、R2比Cp1、Cp2的容抗小得多，则Cp1、Cp2对电桥平衡的影响就很小，从而极大地减小了Cp1、Cp2对传感器电容C1、C2输出的影响。 * 上式表明，在设计传感器时应先根据电容初始值决定d，再根据材料的线膨胀系数αL、αb、αh ，适当选择b和h，就可消除由环境温度变化而引起的电容量相对误差。 * 整个组件直径29.4mm. 参比电容与敏感电容串联排列，便于组成补偿电路。 * 工作原理：参比光束和测量光束取自同一光源，当两光束射入到左右接收室后，被接收室的气体所吸收，使气体温度升高，室内压强增大，但左右两边压强相等，可动电极维持在平衡位置；若被测气体浓度增加，则测量光束的入射量减少，导致测量室气体吸收能量少于参比室，从而左右压强不等，可动极片位移，改变电容量。 * * 当被测参数（力或速度）以正弦规律变化作用在极板膜片上时，平行板电容器的电容增量也按正弦形式变化 。 积分电路，输出电压的变化与位移成正比; 微分电路，回路电流与速度成正比 * * 当被测参数（力或速度）以正弦规律变化作用在极板膜片上时，平行板电容器的电容增量也按正弦形式变化 。 积分电路，输出电压的变化与位移成正比; 微分电路，回路电流与速度成正比 C----传感器电容； Rp----并联损耗电阻（包含极板间的泄漏电阻和介质损耗，反映电容器在低频时的损耗）； Rs----串联损耗电阻（由引线、极板和金属支座等引起）； Cp----寄生电容（它与传感器电容并联，分析时可视为含于传感器电容C中） Ls----传感器接线端之间的电流回路的总电感； 一、实际传感器的等效电路模型 各种损耗 电场边缘效应 寄生与分布电容 环境温度 等效阻抗： 等效电容：通常不考虑Rs和Rp的影响，只考虑L的影响，此时有: 电容的实际相对变化量： 激励信号频率 电路谐振频率： 讨论： 1、电容传感器电容的实际相对变化量与传感器的固有电感（包括引线电感）有关。由于电路的感抗会抵消一部分容抗，电容传感器的有效电容Ce将有所增加。因此，实际使用时，供电电源频率与连接电缆长度应与标定时的条件相同，否则会引入测量误差。 2、等效电路有一谐振频率，通常为几十兆赫。谐振或接近谐振时，它破坏了电容器的正常作用。因此，只有在低于谐振频率（通常为谐振频率的1/3-1/2)时，电容传感器才能正常工作。 3、由电容的实际相对变化量的式子中可知，只有在激励信号频率远低于谐振频率时，Ce=C，电容传感元件本身才可用纯电容表示。 二、电容电场的边缘效应及等位环的应用： 1、电容电场的边缘效应：两极板间的电场线中间部分是均匀的，边缘会发生弯曲。这种弯曲与极板厚度、极板间距有关。 h/d越小，则f(h/d)越小（表4-2） （圆形平行板电容器） 边缘效应因子 附加电容将引起传感器灵敏度下降和非线性增加。 等势环 2、边缘效应的克服：增大前项，减小后项 （1）极板面积增大，极距减小； （2）极板厚度减小（如在石英或陶瓷平面上真空镀膜做极板）； （3）加装等势环。等势环安装在固定极板外，与固定极板同心、绝缘、等电势，使边缘电场线平直以得到均匀电场。 三、寄生与分布电容： 1、极板与周围物体间产生的寄生与分布电容Cp ： 电缆寄生与分布电容 极板与元件、人体间的寄生与分布电容 2、影响： Cp与传感器电容并联，且随机变化，有时可达传感器电容的几倍到几十倍，使传感器工作很不稳定，严重影响输出特性，甚至淹没有用信号。 3、消除方法： 改善传感器结构、尺寸：增加初始电容；传感器与测量电路装在同一个壳体内，省去电缆引线，或集成于同一芯片，构成集成电容式传感器。 使用各种屏蔽技术：驱动电缆法、整体屏蔽法等。 内屏蔽层与信号传输芯线通过增益为1的放大器（驱动放大器）相连而成为等电势----消除芯线对内屏蔽的容性漏电，克服了寄生与分布电容的影响； 外屏蔽层接大地----防止外界电场的干扰。 对驱动放大器的要求：Ri很高，Ci极小，能驱动大的容性负载，且