基于ＣＣＤ激光衍射暗纹间距的精确测量算法研究.docVIP

基于ＣＣＤ激光衍射暗纹间距的精确测量算法研究 　　摘 要：激光衍射测量技术对于测量微小尺寸的工件有很大优势，但是由于较高级次暗纹的光强较微弱，被中央明条纹光强所掩盖,以及散斑和CCD热噪声的影响，暗条纹中心距很难精确测量。将CCD视频信号先进行自适应滤波，消除噪声影响，再利用差分法和取平均值的方法找到暗点的粗略位置，进而用最小二乘法进行局部拟合，确定精确暗点位置。实验表明用改进方法处理暗条纹精度较高。 　　关键词：激光衍射;暗条纹;自适应滤波;最小二乘法 　　中图分类号：TP29 文献标识码：A 　　文章编号：1004373X(2008)0313602 　　CCD―based Laser Diffraction on Dark―strips Distance Precision Measurement Algorithm 　　LI Xiaoyan,FANG Qiang,ZHANG Wenfu,ZHAO Na 　　(Xi′an University of Post and Telecommunications,Xi′an,710061,China) 　　Abstract：laser diffraction measurement technique for measuring small size is a great advantage,however,the higher the grade of dark stripe,the weaker the light intensity,and the central stripe of light intensity are overshadowed.Speckle and CCD thermal noise impact,dark stripes from the center is difficult to accurately measured.This paper presents CCD video signal conducts adaptive filter to remove noise impact,using differential and average method to find the rough location of dark spot,with the last partial least squares fitting method to find the precise location.Experiments show improved approach to higher precision dark stripes. 　　Keywords：laser diffraction;dark stripes;adaptive filter;least squares fitting method 　　激光衍射测量系统中，暗条纹间距的测量一直是个难题。由于环境等因素的干扰，较高级次的暗条纹光强十分微弱，而且被中央亮条纹所掩盖，CCD本身的暗电流噪声，激光器照射光学器件产生的散斑等都造成CCD输出信号无法精确定位，因此必须先经过滤波才能进行后续处理。 　　 　　1 滤 波 　　 　　由于各种噪声的影响，滤除噪声的干扰相当重要。本系统采用的是像元大小为7 μm的线阵CCD，像元个数是5 340，有效像元长度是37.38 mm。CCD输出信号的波形如图1所示。 　　图1 输入波形 　　由于噪声的多样性，本系统采用LMS(最小均方)自适应滤波。LMS算法用于自适应地调节一个FIR滤波器的系数。x(n)是已知输入序列，期望序列是d(n),步长Δ和期望的自适应FIR滤波长度为N，相应的输出序列是y(n)，FIR滤波器可调节的系数h(k),M是输入序列的长度。 　　 　　将期望序列与FIR滤波器的输出做比较，然后取d(n)与y(n)之差形成误差序列e(n)： 　　 　　并选择这个FIR滤波器的系数使平方误差最小。用任意选择的h(k)作为开始，然后将每一新的输入样本x(n)输入到这个自适应FIR滤波器，计算相应的输出y(n),形成误差信号e(n)=d(n)-y(n)，并按方程: 　　 　　更新滤波器系数，x(n-k)是输入信号在时间n位于滤波器第k个抽头上的样本，而e(n)x(n-k)是对第k个滤波器系数的一个梯度负值的估计。这就是为自适应地调节滤波器系数而使平方误差和达到最小的LMS递推算法。 　　通过自适应滤波，信噪比增大，使CCD输出信号更适合于精确处理。滤波后的CCD信号如图2所示。 　　图2 自适应滤波后的波形 　　 　　2 粗略暗点的提取 　　 　　判断暗点用扫描法，当扫描过程中满足以下4个