[工学]第5章_微弱信号检测.pptVIP

第5章 微弱信号检测原理 第5章 微弱信号检测原理 ●相位测量法，以滤波器的基本原理作为测量的基本依据。 ●采用开关电容电路，此方法比较方便地把传感器和测量电路进行集成，通过一定频率的时钟信号控制开关的通断，使电容在一定的时间内充、放电，从而把未知电容转化为电压信号、数字信号或频率信号。 ●将电容信号转化为电压信号，此类电容检测的前置放大电路按原理分可分为开关型电路和调制解调型电路。开关型电路是利用电容的充电、放电。调制解调型电路是将敏感加速度变化的低频信号调制成高频交流信号，经过交流放大，然后解调还原成对应输入加速度变化的低频信号。 （2）电容式压力微传感器 对于图5.4所示的电容式压力微传感器，由于需要测量的电容通常很小，因此需要专门的接口电路，而测量小电容的接口电路比测量电阻的接口电路复杂，并且需要将接口电路集成到传感器芯片上，以避免杂散电容的影响。但在微机电系统中，可以充分发挥出微机电系统工艺的特点，将敏感元件和测量电路制作在一起。 5.3.2 压阻检测 （1）压阻效应 当对半导体材料施加外力时，除了产生变形外，同时也改变了其载流子的运动状态，导致材料电阻率的变化，这种效应就是压阻效应。 （2）压阻式压力传感器 压阻式压力传感器是基于单晶硅的压阻效应而工作的。当压力变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化,再由桥式电路获得相应的电压输出信号。 （3）压阻式加速度传感器 这种传感器是以半导体的压阻效应为基础，常用压阻式加速度传感器的结构如图5.5所示。图为单质量块结构的加速度传感器。 5.3.3压电检测 （1）压电式报警器 BS-D2压电式传感器是专门用于检测玻璃破碎的一种传感器，它利用压电元件对振动敏感的特性来感知玻璃受撞击和破碎时产生的振动波。传感器把振动波转换成电压输出，输出电压经放大、滤波、比较等处理后提供给报警系统。 BS-D2压电式玻璃破碎传感器的外形及内部电路如图5.6。 报警器的电路框图如图5.7所示。使用时把传感器贴在玻璃上，然后通过电缆和报警电路相连。 5.3.4 隧道检测 隧道现象指的是在两金属片之间夹有极薄（约为10 m）绝缘层（如氧化膜），当两端施加直流电压时，回路就有电流产生，即有电流通过绝缘层，此电流称为隧道电流，这种现象则称为隧道效应。 只有将原子线度的极细探针及被研究物质的表面作为两个电极，当样品与针尖的距离接近时（1μm），它们的表面电子云就可能重叠，如图5.8所示。若在样品与针尖之间加一微小电压，电子就会穿过连个电极之间势垒，流向另一个电极，形成隧道电流 。 的大小是电子波函数重叠程度的量度，与针尖和样品之间的距离 以及样品表面平均势垒的高度 有关，电流 和 之间满足关系： V——隧道电极两端的电压； A——常数，其值为 ； 可见，隧道电流对针尖与样品表面的距离 非常敏感。如果 减少0.1nm，隧道电流就会增加一个数量级，即10倍。隧道电流式加速度计就是基于此原理来检测加速度引起的位移信号的。 （1）电子隧道加速度计 电子隧道加速度计的基本原理就是电子隧道效应。隧道加速度计由一个可动的质量块电极和一个固定的硅尖电极组成的。 图5.9 是电子隧道传感器微机械传感器头的原理示意图。其中的可动质量块将可以感应垂直于其支撑方向的外界加速度，并在其作用下做受迫振动。振动的检测将采用微隧道结构，两个隧道电极分别装在质量块和探针上，外界施加的振动使隧道电极间隙发生变化，从而隧道电流也发生变化。 图5.10是隧道加速度的工作原理框图。其中，A-V为转换电路，将隧道电流转换成电压，然后通过电压跟随电路，经过放大电路将电压放大，放大后的电压经电压反馈网络，反馈到隧道加速度计。偏置电压电路为隧道加速度计提供100-200mV左右的偏置电压。 （2）地质雷达进行隧道监测工作原理 采用地质雷达技术对公路隧道进行质量检测可以探测、分析、判断隧道工程的质量缺陷。 地质雷达是利用天线在地面向地下发射高频、宽频带、短脉冲电磁波(主频为数十至数百乃至数千兆赫)，经地下地层或目的物反射后返回地面，以另一天线所接收。当地下介质的波速已知时，可根据测到的准确时间值计算出反射体的深度。 通过计算机使用不同的滤波程序对反射波运行时间、回波能量分布及波形进行处理和分析，从而推断地下地质结构。地质雷达工作原理见图5.11。 5.3.5热流式检测 （1）热流式微流量传感器原理 根据工