奈米材料合成技术气相法.pdfVIP

奈米材料合成技術 Department of Materials Engineering Tatung University Hong-Ming Lin 氣相法 氣相法具備滿足前述多項優良合成條件的要素 ，理由是乾淨 ，粒徑很一致 、 粒度分佈明銳 ，容易控制粒徑 ，最近被常用來生成奈米微粒 。研究用或欲探索用 途時 ，需要特性一定的奈米微粒 ，很適用氣相蒸發法 ，可作出金屬 、合金 、陶瓷 、 41 ,42 ,43 ,44 ,45 ,46 ,47 ,48 複合物 、有機化合物的奈米微粒子[ ] 。 氣相合成技術之發展可追溯至 1950 年代 ，為目前最主要之合成技術 。其基 本原理是利用氣相中的原子或分子在過飽和狀態時 ，將會開始成核析出為固相或 液相 。如在氣相中進行均質成核時控制其冷卻速率 ，則可漸成長為純金屬 、陶瓷 或複合材料之奈米粉體 ；若在固態基板上緩慢冷卻而成核-成長 ，