现代传感技术与系统 第1章.ppt

1.6.1 现代传感技术的发展现状 (2)与国外的差距 我国传感器产业经过“八五”、“九五”、“十五”多年的发展，近年来取得了长足的进步，已经形成了一定的产业基础和发展规模，建立了“传感技术国家重点实验室”、 “微米/纳米国家重点实验室”、“国家传感技术工程中心”等研究开发基地；初步建立了敏感元件与传感器产业。 2000年总产量超过13亿只，品种规格已有近6000种 。 我国从事传感器研究和生产的单位约1600多家，其中从事MEMS研制生产的已有50多家，居世界第一。 中国传感器的四大应用领域是工业及汽车电子产品、通信电子产品、消费电子产品、专用设备。 1.6.1 现代传感技术的发展现状 企业分散、实力不强、市场开拓不力，真正形成一定规模的却寥寥无几。多数企业是低水平的重复，处在生产的初级阶段。 传感研究方面科研投资强度偏低，科研设备落后，加之科研成果的转化较差，造成了我国传感器产品综合实力较低，阻碍了传感器产业的发展。 世界传感器的种类约有2万种，而我国目前生产的也仅有6000多种 1.6.1 现代传感技术的发展现状 ① 缺少具有自主知识产权的创新性成果，科研成果向产业转化速度慢，取得显著社会经济效益的项目少； ② 缺乏大规模生产的企业，高档产品种类少，市场满足率低； ③ 生产工艺装备离国际水平有较大差距； ④ 整体还处于跟踪状态。 1.6.2 现代传感技术的发展趋势 (1) 开发新材料、研究新型传感器 材料是传感器技术的重要基础。随着传感器技术的发展、如半导体材料、陶瓷材料以外，光导纤维、纳米材料、超导材料等相继问世。 随着研究的不断深入，人们将进一步探索具有新效应的敏感功能材料；通过微电子、光电子、生物化学、信息处理等各种学科、各种新技术的互相渗透和综合利用, 从而研制开发具有新原理、新功能的新型传感器。 1.6.2 现代传感技术的发展趋势 (2) 向高精度发展 随着自动化生产程度的不断提高，对传感器的要求也在不断提高，必须研制出具有灵敏度高、精确度高、响应速度快、互换性好的新型传感器以确保生产自动化的可靠性。 目前能生产相对精度在万分之一以上的传感器的厂家为数不多，其产量也远远不能满足要求。 1.6.2 现代传感技术的发展趋势 (3) 向高可靠性、宽温度范围发展 传感器的可靠性直接影响到电子设备的抗干扰等性能，研制高可靠性、宽温度范围的传感器将是永久性的方向。 提高温度范围历来是大课题，大部分传感器其工作范围都在-20℃~70℃，在军用系统中要求工作温度在-40°C~85°C范围，而汽车锅炉等场合要求传感器工作在-20°C ~120°C，在冶炼、焦化等方面对传感器的温度要求更高，因此发展新兴材料（如陶瓷）的传感器将很有前途。 1.6.2 现代传感技术的发展趋势 (4) 向微型化发展 各种控制仪器设备的功能越来越大，要求各个部件体积能占位置越小越好，因而传感器本身体积也是越小越好，这就要求发展新的材料及加工技术，目前利用硅材料制作的传感器体积已经很小。如传统的加速度传感器是由重力块和弹簧等制成的，体积较大、稳定性差、寿命也短，而利用激光等各种微细加工技术制成的硅加速度传感器体积非常小、互换性可靠性都较好。 1.6.2 现代传感技术的发展趋势 (5) 向微功耗及无源化发展 传感器一般都是非电量向电量的转化，工作时离不开电源，在野外现场或远离电网的地方，往往是用电池供电或用太阳能等供电，开发微功耗的传感器及无源传感器是必然的发展方向，这样既可以节省能源又可以提高系统寿命。目前，低功耗损的芯片发展很快，如TI2702运算放大器，静态功耗只有1.5mA，而工作电压只需2~5V。 1.6.2 现代传感技术的发展趋势 (6) 向集成化、多功能化发展 集成化技术包括传感器与IC的集成制造技术以及多参量传感器的集成制造技术，缩小了传感器的体积，提高了抗干扰能力。 在通常情况下一个传感器只能用来探测一种物理量，但在许多应用领域中，为了能够完美而准确地反映客观事物和环境，往往需要同时测量大量的物理量。由若干种敏感元件组成的多功能传感器则是一种体积小巧而多种功能兼备的新一代探测系统，它可以借助于敏感元件中不同的物理结构或化学物质及其各不相同的表征方式，用单独一个传感器系统来同时实现多种传感器的功能。随着传感器技术和微机技术的飞速发展，目前已经可以生产出来将若干种敏感元件综装在同一种材料或单独一块芯片上的一体化多功能传感器。 1.6.2 现代传感技术的发展趋势 (7)向智能化发展 所谓智能化传感器就是将传感器获取信息的基本功能与专用微处理器的信息分析、处理功能紧密结合在一起，并具有诊断、数字双向通信等新功能的传感器。 由于微处理器具有强大的计算和逻辑判断功能，故可方便地对数据进行滤波、变换、校正补偿、存