[工学]第一章表面技术概论.pptVIP

第一章 表面技术概论 表面技术在新型材料中的应用1　金刚石薄膜（Diamond　Film）　　它可以用热化学气相沉积（TCVD）和等离子体化学气相沉积（PCVD）等技术在低压或常压条件下制得。这种材料硬度高，室温导热性好，绝缘，稳定，在很宽的光波范围内透明，并有较宽的禁带宽度。在微电子技术、超大规模集成电路、光学、电子学等方面有良好的应用前景。还有可能是Ge、Si、GaAs之后的新一代半导体材料。 1.3 表面技术的应用 材料表面工程 张艳梅 广东工业大学材料与能源学院 主要授课内容 第一章 表面技术概论（2学时） 知识点：表面技术的涵义、表面技术的目的、表 面技术的分类、表面技术的应用概况。 第二章 表面科学的某些基本概念和理论（2学时） 第三章 电镀和化学镀（2学时） 知识点：电镀、电刷镀、化学镀。 第五章 表面涂敷技术（4学时） 知识点：热喷涂、电火花表面涂敷、热浸镀。 第六章 表面改性技术（6学时） 知识点：金属表面形变强化、表面热处理、金属 表面化学热处理、等离子体表面处理、激光表面 处理、 电子束表面处理、离子注入表面改性。 主要授课内容 第七章 气相沉积技术（6学时） 知识点：真空蒸镀、溅射镀膜、离子镀、化学气 相沉积、分子束外延、离子束合成薄膜技术。 第八